聚合物辅助设计生长高质量多功能薄膜
本文选题:聚合物 + 薄膜 ; 参考:《物理化学学报》2017年02期
【摘要】:随着薄膜材料的日益发展和新型薄膜材料的不断涌现,开发薄膜生长技术对于半导体和光电等科技领域的作用日益突出。本文主要介绍最近发展的聚合物辅助沉积从分子层面上控制生长高质量的薄膜材料。聚合物辅助沉积是一种生长高质量薄膜的化学水性溶液方法,将金属离子与聚合物通过络合、氢键或静电等方式形成一种均匀稳定的前驱体溶液,再经过超滤、成膜和热处理形成高质量的金属氧化物、金属碳化物、金属氮化物、金属单质、金属硫/硒化物等薄膜以及纳米粒子等化合物或复合功能材料。该方法中水溶性的聚合物能通过络合作用抑制金属离子的水解使得溶液稳定,并能精确控制薄膜的组分从而形成高质量的薄膜。该化学溶液方法的提出为科学技术领域提供了一种低成本和大面积制备薄膜的技术路线。本文最后总结和展望了聚合物辅助沉积法未来的挑战和发展方向。
[Abstract]:With the development of thin-film materials and the emergence of new thin-film materials, the development of thin-film growth technology plays an increasingly important role in semiconductor and optoelectronic fields. In this paper, the recent development of polymer assisted deposition for controlling the growth of high quality thin film materials at the molecular level is introduced. Polymer assisted deposition is a chemical aqueous solution method for the growth of high quality thin films. Metal ions are formed by complexation, hydrogen bonding or static electricity to form a homogeneous and stable precursor solution, which is then ultrafiltered. High quality metal oxides, metal carbides, metal nitrides, metal elemental materials, metal sulfur / selenide films, nanoparticles and other compounds or composite functional materials are formed by film formation and heat treatment. In this method, water-soluble polymers can stabilize the solution by inhibiting the hydrolysis of metal ions by complexation, and can precisely control the composition of the films to form high-quality films. The proposed chemical solution method provides a low cost and large area technical route for the preparation of thin films in the field of science and technology. Finally, the challenges and future development of polymer assisted deposition are summarized and prospected.
【作者单位】: 苏州大学物理与光电?能源学部苏州纳米科技协同创新中心;北京大学化学与分子工程学院;
【基金】:国家重点基础研究发展规划项目(973)(2015CB358600) 国家自然科学基金优秀青年基金(21422103)资助~~
【分类号】:TB383.2
【参考文献】
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【共引文献】
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4 蔡s,
本文编号:2092688
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