医用光学滤光片与可见光波段高反射膜的设计与制备工艺

发布时间：2019-08-11 15:46

【摘要】：光学功能薄膜广泛应用于光电产业、国防、环境科学等众多领域,市场前景广阔。本文针对窄带滤光片和高反射膜两种光学功能薄膜进行了研究,通过对膜系设计以及对制备工艺的研究与优化,取得了一些有价值的研究成果。本文的主要研究内容和成果如下:1.针对于医用窄带滤光片,基于法布里-铂罗标准具带通滤光片的基本结构形式,并辅以TFCalc膜系设计软件,设计了符合使用要求(530±20nm@T92%,截止带透过率小于0.5%)的窄带滤光片,并采用射频离子束溅射镀膜技术成功制备了符合要求的窄带滤光片。2.针对于可见光波段的高反射膜,研究了多个多层介质高反射膜堆叠加使用设计高反射膜系,并辅以TFCalc膜系设计软件设计了符合使用要求(入射角度24°、R92%)的可见光波段(400~750nm)高反射膜系。利用离子束辅助电子枪热蒸发镀膜技术,研究了不同Tooling值及不同高折射率材料对于高反射膜光学性能的影响,制备出了符合设计要求的高反射膜。
【图文】：

图 2.1 E 的边界条件法拉第电磁感应定律有：dStBEdls 中 Et1和 Et2分别表示 E 在介质 1 和介质 2 中的切向分量，，且 d 的值

图 2.2 垂直入射时电矢量正方向标记 0E 、 0E , 0H , 0H 分别代表 E 和 H 处于入射介质之中时的各个分量，28）得： 0000HNSE
【学位授予单位】：青岛大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2016
【分类号】：TB43

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本文编号：2525376