SiO 2 基ITO/LaB 6 /ITO透明导电薄膜电极的制备及性能研究
发布时间：2020-12-09 11:53
ITO薄膜作为性能优良的透明导电薄膜和透明隔热材料,已广泛应用于平板显示器、透明视窗、太阳能电池等场合。而La B6纳米颗粒在近红外区域具有隔热作用,在透明隔热领域将会有巨大的市场需求,以弥补ITO薄膜在近红外区域阻隔效果差的不足。在此基础上,本文中通过磁控溅射技术在玻璃基底上首次制备出ITO/La B6/ITO复合薄膜,对其在透明导电薄膜领域的应用进行了探索。逐层的研究了热处理前后薄膜的组织结构对薄膜的生长的影响,逐层的研究了热处理前后薄膜的组织结构对薄膜光电性能的影响。利用SEM、AFM和XRD设备研究薄膜的生长情况,研究发现,热处理前,随着薄膜的层数的增加,薄膜的表面变得平坦,薄膜的粗糙度降低。热处理后,ITO薄膜由非晶转变为多晶,薄膜存在内应力,薄膜的粗糙度上升;随着薄膜的层数增加,薄膜的均匀性上升。研究薄膜的光学和电学性能发现,随着薄膜的的层数增加,薄膜的透过率和面阻下降;热处理后,薄膜的透过率和面阻得到改善,面载流子浓度和迁移率上升。热处理后,由于均匀平整的组织结构,在溅射时间为1min/5min/2min获得综合光电性能最优的ITO/La B6/ITO薄膜,其可见光内平均...
【文章来源】：昌吉学院新疆维吾尔自治区
【文章页数】：80 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
自组装银纳米线的SEM图像
2 低倍和高倍下碳纳米管根的 SEM 图像 the tube roots at low-magnication and high-m空抽滤的方法在石英玻璃上制备出石墨烯同的热处理工艺最终获得在 500nm 波长薄膜，这些性能对于很多重要的应用是足膜性能的提升很重要[37]。Viet Hung Pham的石墨烯薄膜，薄膜的面阻和透过率可以其中性能最好的薄膜在 500nm 波长透过g Lee 等报道了一种由化学气相沉积方法制的石墨烯薄膜，其中在PET基底上制备的率，面阻大大的降低主要是由于转移中残留合物的掺杂机制可以通过在石墨烯基底平表面附近产生规整的偶极子力矩[39]。由于
图 2.1 JGP-450A 型磁控溅射Fig.2.1 JGP-450A Magnetron Sputtering薄膜电极的测试方法及设备 薄膜电极的测试方法薄膜电极形貌与结构的表征：利用原子力显微镜SEM）对薄膜的组织形貌进行观察，利用 X 射线行表征。并逐层研究薄膜的组织结构对于 ITO/L膜的组织结构对于 ITO/LaB6/ITO 薄膜组织结构的薄膜电极光学性能的测试：利用紫外可见分光光析薄膜的组织、结构和透过率间的关系及热处理响。薄膜电极电学性能的测试：利用四探针电阻率测效应测试系统对薄膜的载流子浓度、迁移率和霍
本文编号：2906821
【文章来源】：昌吉学院新疆维吾尔自治区
【文章页数】：80 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
自组装银纳米线的SEM图像
2 低倍和高倍下碳纳米管根的 SEM 图像 the tube roots at low-magnication and high-m空抽滤的方法在石英玻璃上制备出石墨烯同的热处理工艺最终获得在 500nm 波长薄膜，这些性能对于很多重要的应用是足膜性能的提升很重要[37]。Viet Hung Pham的石墨烯薄膜，薄膜的面阻和透过率可以其中性能最好的薄膜在 500nm 波长透过g Lee 等报道了一种由化学气相沉积方法制的石墨烯薄膜，其中在PET基底上制备的率，面阻大大的降低主要是由于转移中残留合物的掺杂机制可以通过在石墨烯基底平表面附近产生规整的偶极子力矩[39]。由于
图 2.1 JGP-450A 型磁控溅射Fig.2.1 JGP-450A Magnetron Sputtering薄膜电极的测试方法及设备 薄膜电极的测试方法薄膜电极形貌与结构的表征：利用原子力显微镜SEM）对薄膜的组织形貌进行观察，利用 X 射线行表征。并逐层研究薄膜的组织结构对于 ITO/L膜的组织结构对于 ITO/LaB6/ITO 薄膜组织结构的薄膜电极光学性能的测试：利用紫外可见分光光析薄膜的组织、结构和透过率间的关系及热处理响。薄膜电极电学性能的测试：利用四探针电阻率测效应测试系统对薄膜的载流子浓度、迁移率和霍
本文编号：2906821
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