阴极电弧法氧化物薄膜制备技术研究

发布时间：2021-05-10 15:04

　　以阴极电弧离子镀技术为依托,以绝缘氧化物薄膜的制备工艺研究为目的,试验利用脉冲磁复合磁场技术,对氧化物薄膜制备工艺过程进行研究。结果表明:采用阴极电弧离子镀技术可以实现多种绝缘氧化物薄膜的制备;阴极电弧氧化物涂层过程中薄膜具有外延生长的特征,AlTiN有利于促进氧化物薄膜的快速生长,α-Cr₂O₃的结晶结构和晶格参数与α-Al₂O₃相近,可促进α-Al₂O₃的生成;AlTiO的沉积速率1.2～1.875μm/h·CAE,ZrO₂沉积速率1.833μm/h·CAE;可以实现柱状晶ZrO₂薄膜及多元氧化物薄膜的制备,氧化物薄膜隔热功能效果显著,可对热端零部件形成有效的温度保护,AlCrO/ZrO₂高温相结构稳定性较好;在高温条件下,亚稳态Al₂O₃薄膜体系存在向α稳定相转换的趋势;AlTiO薄膜具有优异的化学稳定性及抗粘结性能;CAE脉冲磁复合磁场技术... 

【文章来源】：工具技术. 2020,54(10)

【文章页数】：7 页

【文章目录】：
1 引言
2 金属氧化物薄膜的制备方法
    (1)材料转移型
    (2)扩散反应型
    (3)反应生成型
3 氧化铝薄膜的制备
    (1)溅射技术
    (2)阴极电弧技术
4 试验与研究
5 结果与分析
    5.1 氧化物薄膜组织结构及沉积速率
    5.2 氧化物薄膜力学性能
    5.3 氧化物薄膜成分构成
6 应用与研究
    (1)高温的影响
    (2)高温隔热试验
    (3)耐磨试验
7 结语


【参考文献】：
期刊论文
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[2]磁控溅射法制备氧化铝/氧化锆双层复合涂层的氢渗透性能研究[J]. 郜健,何迪,刘晓鹏,王树茂,蒋利军,李帅.  稀有金属. 2015(10)
[3]高速切削刀具物理气相沉积涂层研究进展[J]. 王启民,黄健,王成勇,伍尚华.  航空制造技术. 2013(14)
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本文编号：3179572