一种基于CF400接口分子泵抽速测试装置

发布时间：2021-08-05 23:19

　　针对国产化大抽速分子泵测试需求,研制出基于CF400接口分子泵抽速测试装置。采用量程为10～10^-9 Pam³/s的复合型标准气体流量计提供可变的标准流量,仅用流量法实现了测试罩内气体压力处于10^-1～10^-7 Pa范围的抽速测试,而传统测试方法采用标准流导法和流量法相结合实现该范围的测试;装置集成了在线真空校准功能,用磁悬浮转子真空计作为参考标准,实现在10^-1～10^-4 Pa范围内对测试罩内气体压力的直接测量及副参考标准电离真空计的在线校准。研制的装置与原有测试方法相比较优点主要为:采用一种方法实现了分子泵抽速测试;在线校准技术解决了原有测量过程电离真空计灵敏度系数发生变化引起测量结果出现的较大偏差;实现对不同气体抽速的直接测量,避免原方法只能给出等效氮气测试结果的不足。实验结果证明,装置对分子泵抽速的测试范围为3000～5000 L/s,测量结果的合成标准不确定度为2.2%～4.4%。 

【文章来源】：真空科学与技术学报. 2020,40(05)北大核心CSCD

【文章页数】：5 页

【文章目录】：
1 分子泵抽速测试方法
2 CF400接口分子泵抽速测试装置
    2.1 测试罩模块
    2.2 复合型流量计模块[15-17]
    2.3 测量与校准模块
    2.4 装置测试范围[12-21]
    2.5 测量不确定度评定[18-22]
    2.6 分子泵抽速测试数据
3 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]定容法正压漏孔校准装置[J]. 卢耀文,齐京,陈旭,刘志宏,张明志,闫睿,徐天伟,查良镇.  真空科学与技术学报. 2014(06)
[2]一种下限为1.3×10-14Pa·m3/s的真空漏孔校准装置[J]. 卢耀文,陈旭,李得天,齐京,刘波,闫睿,查良镇.  真空科学与技术学报. 2014(05)
[3]便携式真空漏孔校准装置[J]. 卢耀文,陈旭,李得天,刘波,齐京,查良镇.  真空科学与技术学报. 2013(12)
[4]便携式真空计校准装置[J]. 卢耀文,陈旭,李得天,齐京,查良镇.  真空科学与技术学报. 2013(05)
[5]新型分子增压泵的性能测试[J]. 蒙峻,杨晓天,张素平,储继国.  真空. 2008(04)
[6]分子泵对Xe气抽速的测试[J]. 郭宁,邱家稳,江豪成.  真空. 2007(02)
[7]分子泵的世纪回顾与展望[J]. 杨乃恒,巴德纯,王晓冬,于治明.  真空. 2001(02)
[8]往复真空泵抽速测试的理论探讨[J]. 许沭华,胡焕林.  真空. 1997(03)

硕士论文
[1]多重牵引分子泵的的性能测试及其应用[D]. 王雅婷.合肥工业大学 2003



本文编号：3324623