MBE法高质量VO 2 薄膜生长及其特性研究

发布时间：2022-02-14 13:39

　　科学研究表明,钒元素具有多种价态,容易形成多种化合物,而且这些钒-氧化合物均具有较为独特的相变性质。其中,二氧化钒（VO₂）成为人们较为关注以及研究的重点。VO₂的临界相变温度为68^oC,具有随温度变化,晶格结构也随之变化的独特的相变性质。低温时,VO₂是高电阻率的单斜结构的半导体或绝缘体晶相;高温时,VO₂是低电阻率的四方金红石结构的金属晶相。因此,VO₂材料凭借其独特的相变性质,使得它的其他光电性质也随之发生变化,从而令VO₂材料在智能材料、智能调节以及智能节能等领域具有广泛的应用前景。为了探究VO₂薄膜材料在这几方面的应用以及稳定性,我们采用MBE法制备高质量VO₂薄膜样品,研究其在THz调制器和智能窗户方面的应用性能,以及其相变稳定性。探究VO₂材料相变的微观机理及其光电特性变化,为实现VO₂作为能源与功能材料的广泛应用提供理论上的指导。主... 

【文章来源】：大连理工大学辽宁省211工程院校985工程院校教育部直属院校

【文章页数】：74 页

【学位级别】：硕士

【文章目录】：
摘要
Abstract
引言
1 研究背景
    1.1 VO_2材料的基本性质及其相变机制
    1.2 VO_2材料的基本应用
    1.3 VO_2薄膜的制备
    1.4 VO_2材料的研究进展及存在问题
    1.5 论文主要研究内容
2 本文采用的制备方法与表征手段
    2.1 分子束外延法(MBE)
    2.2 表征手段
3 蓝宝石衬底VO_2薄膜的THz特性研究
    3.1 引言
    3.2 样品制备及表征
    3.3 实验结果与表征分析
    3.4 本章小结
4 石英玻璃衬底VO_2薄膜的特性研究
    4.1 引言
    4.2 样品制备及其表征
    4.3 实验结果与表征分析
    4.4 本章小结
5 蓝宝石衬底VO_2薄膜的稳定性研究
    5.1 引言
    5.2 样品制备及表征
    5.3 实验结果与表征分析
    5.4 本章小结
结论
展望
参考文献
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
攻读硕士学位期间荣获奖励情况
致谢



本文编号：3624664