ITO薄膜的电阻并联效应研究

发布时间：2022-07-08 09:52

　　采用电子束蒸发镀膜方法在K9玻璃基底上分别镀制了ITO/SiO2/ITO,ITO/Ti2O3/ITO和ITO/MgF2/ITO结构的多层薄膜,用四探针方块电阻仪测量薄膜表面的方块电阻,用原子力显微镜观测样品的表面微观形貌。结果显示,当ITO薄膜的粗糙度较大且介质薄膜的物理厚度小于100nm时,各层ITO薄膜之间通过山峰状的凸起结构相连通,导致样片表面的方块电阻测量值与各层ITO薄膜电阻的并联值相当。这表明,当ITO薄膜的粗糙度较大且介质薄膜厚度较小时,各层ITO薄膜表现出电阻并联效应。利用多层ITO薄膜的电阻并联效应设计并制备了450～1 200nm超宽光谱透明导电薄膜,用四探针方块电阻仪测量了试验样片的表面方块电阻,用紫外-可见-近红外分光光度计测试了样片的光谱透射率。结果显示,在相同表面方块电阻条件下,相比于单层ITO薄膜,利用ITO薄膜电阻并联效应所制备的多层透明导电薄膜具有更高的光谱透射率。 

【文章页数】：5 页

【文章目录】：
0 引言
1 实验方法
2 结果与讨论
    2.1 实验结果
    2.2 分析与验证
3 应用举例
4 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]In2O3透明薄膜晶体管的制备及其电学性能的研究[J]. 徐天宁,吴惠桢,张莹莹,王雄,朱夏明,原子健.  物理学报. 2010(07)
[2]In2O3/SnO2薄膜的制备及光谱反射性能研究[J]. 田启祥,刘胜超.  物理学报. 2010(01)
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[4]有ITO透明导电膜的平面分层介质系统的电磁波性能理论研究[J]. 张维佳,王天民,崔敏,戎霭伦.  物理学报. 2006(03)



本文编号：3656807