类富勒烯碳薄膜的结构演变及摩擦学性能研究

发布时间：2022-12-08 19:49

　　通过等离子体增强化学气相沉积技术,以不同沉积时间在硅表面上制备类富勒烯碳薄膜,探究类富勒烯碳薄膜结构演变和摩擦学性能随沉积时间变化规律。利用拉曼光谱和透射电子显微镜,考察类富勒烯碳薄膜微结构和表面形貌随沉积时间的变化。结果表明:碳薄膜内类富勒烯结构含量随沉积时间先增加后保持不变;采用沉积时间为3 h的类富勒烯碳薄膜组成摩擦配伍对,当载荷从8 N增加到14 N时,摩擦因数从0.013降至0.006,即随载荷的增加实现了由低摩擦向超滑的转变。这是因为摩擦诱使类富勒烯碳薄膜发生结构转变,并形成有利于减少摩擦的类球状或外部石墨壳层闭合的纳米颗粒。 

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【文章目录】：
1 试验与方法
2 结果与讨论
    2.1 类富勒烯碳薄膜的TEM结果
    2.2 类富勒烯碳薄膜的Raman分析
    2.3 类富勒烯碳薄膜的摩擦学性能
    2.4 类富勒烯碳薄膜低摩擦机制分析
3 结论
    (1)考察不同沉积时间下硅片表面制备类富勒烯碳薄膜微结构、表面形貌。
    (2)考察采用沉积时间为3h硅基底薄膜与2 h和3 h镀膜钢球组成摩擦配伍对的摩擦学性能。



本文编号：3714026