TiO 2 -SiO 2 /SiO 2 双层复合薄膜制备及折射率调控

发布时间：2023-02-09 20:38

　　采用溶胶-凝胶法制备了具有W型减反特性的Ti O₂-SiO₂/SiO₂复合薄膜,并分别调控了TiO₂及TiO₂-SiO₂混合介质薄膜折射率,探索了不同制备条件对TiO₂薄膜折射率的影响机理。通过场发射扫描电子显微镜、能谱仪、椭偏仪、紫外–可见-红外分光光度计研究了薄膜微观结构、薄膜组分、折射率和光学透过率,通过TFcal软件模拟了双层复合薄膜的光学透过率线型。研究表明:溶胶pH值对TiO₂薄膜折射率影响显著,其影响的前驱体水解速率对折射率的影响占主要作用,并且随着pH值的增大薄膜折射率减小,而水/钛比对薄膜折射率影响不显著。在TiO₂与Si O₂混合溶胶中两者物质的量比为1.2:1.0时,获得可用于制备双层复合W型减反膜系底层的薄膜,其椭偏仪拟合测试折射率约为1.68。最终制备的复合TiO₂-SiO₂/SiO₂

【文章页数】：7 页

【文章目录】：
1 实验
    1.1 TiO2与SiO2溶胶制备
    1.2 薄膜制备
    1.3 薄膜表征
2 结果与讨论
    2.1 p H值及去离子水与钛酸丁酯的物质的量比对TiO2薄膜折射率的影响
    2.2 n(TiO2)/n(SiO2)混合物质的量比对TiO2-SiO2混合介质膜折射率的影响
    2.3 双层复合薄膜透过率模拟与测试
3 结论



本文编号：3739214