基于新型TiBCN单相金属陶瓷粉末制备纳米薄膜特性的研究

发布时间：2017-06-20 13:11

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【摘要】：TiBCN单相陶瓷粉末是一种刚问世的新型材料,该材料具有Na Cl型面心立方(Fcc)结构,兼有陶瓷和金属特性。在真空状态下,当温度为1200℃时,利用热蒸发TiBCN粉末,在三氧化二铝(Al_2O_3)陶瓷衬底上获得了TiBCN薄膜。采用X射线衍射仪、场发射扫描电子显微镜及能谱分析仪研究了TiBCN薄膜的组织和微观结构,并用硬度计测试了薄膜的硬度。结果显示,利用热蒸发获得了TiBCN薄膜具有面心立方晶格结构,同时含有少量六方氮化硼(h-BN)相。所制备TiBCN薄膜结晶均匀,晶粒大小约为400 nm,硬度为20.55 GPa。
【作者单位】： 长春理工大学光电工程学院;长春一东离合器股份有限公司;吉林大学材料科学与工程学院汽车材料教育部重点实验室;长春东基材料科技有限公司;
【关键词】： 薄膜 TiBCN 热蒸发 陶瓷粉末 微观结构
【基金】：重大科技攻关专项(20140203002GX)
【分类号】：TB383.2;TQ174.1
【正文快照】： 硬质薄膜以其高硬度、高耐磨、强的抗腐蚀等特性在航空、航天及民用等方面应用广泛。Ti N、Ti B2、B4C及c-BN等本征硬质薄膜的研究比较成熟[1-3],但是这些薄膜有着致命的缺陷,或者应力大,厚度难以达到应用要求,或者单相薄膜制备困难。为解决这些问题,硬质薄膜的设计向着多元化

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