高速气流喷射干式清洗理论及实验研究

发布时间：2017-06-21 02:08

  本文关键词：高速气流喷射干式清洗理论及实验研究，由笔耕文化传播整理发布。

【摘要】：为进一步发展环保经济的清洗方式,提出一种高速气流喷射的干式清洗方法。建立了高速气流喷射条件下去除光滑表面球形微粒的物理模型,将拖拽力与粘附力的比值定义为无量纲的再悬浮参数F*并给出其值的计算方法。选取玻璃基板和单晶硅片为样本平面、单分散的聚苯乙烯微粒为样本微粒,进行高速气流喷射清洗实验,实验探讨了F*与去除效率的关系。结果表明:高速气流喷射法为去除光滑表面微粒的有效方式;再悬浮参数F*可以作为评估去除效率的有效依据。
【作者单位】： 中北大学山西省先进制造重点实验室;北京清大天达光电科技股份有限公司;
【关键词】： 干式清洗 高速气流喷射 再悬浮参数 去除效率
【分类号】：TB490
【正文快照】： 清洗技术的发展对于处理微电子、半导体和光学工业中亚微米颗粒的污染[1-2]、室内有毒气体和粉尘污染[3]以及核污染[4]有重要意义。在微电子产品的制备工艺过程和搬运包装过程中,尘埃粒子、纤维纸屑和Si O2等无机微粒附着在产品表面会造成产品缺陷[5]。随着产品制备工艺条件的

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本文编号：467429