杯型MEMS矢量水听器的设计

发布时间：2017-07-01 22:02

  本文关键词：杯型MEMS矢量水听器的设计，，由笔耕文化传播整理发布。

【摘要】：由于当前四梁纤毛式MEMS矢量水听器的灵敏度与带宽之间相互制约,要想提高水听器的灵敏度往往需要以大幅牺牲带宽为代价,针对此问题提出了杯型矢量水听器,在大幅提高水听器灵敏度的同时仍具有一定的带宽,满足MEMS矢量水听器低频高灵敏度的工程应用要求。通过ANSYS对杯型微结构进行仿真分析,保证水听器的灵敏度及工作带宽。驻波场测试结果表明,杯型矢量水听器的灵敏度在400 Hz可达到-192 dB(前置放大40 dB),具有20~400 Hz的可测带宽,在满足测试带宽的基础上大幅提高了矢量水听器的灵敏度,同时满足灵敏度每频程6 dB的增长趋势,具有良好的"8"字型指向性,凹点深度为31.6 dB。
【作者单位】： 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;中北大学电子测试技术重点实验室;
【关键词】： 矢量水听器 杯型微结构 四梁敏感结构 仿生纤毛 灵敏度 带宽
【基金】：国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2013AA09A412) 国家自然科学基金资助项目(51205374)
【分类号】：TB565.1
【正文快照】： 0引言随着水声技术的不断发展,高灵敏度和小尺寸成为水声传感器发展的必然趋势,而对水下目标准确定位功能的矢量水听器则更具竞争力,具有较大的发展空间[1-3]。早在1956年美国学者C.B.Leslie等人[4]就提出了直接测量质点振速的惯性水听器模型,为矢量水听器的发展奠定了基础。1

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前6条

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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【相似文献】

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本文编号：507603