精密光学玻璃平板检测仪器的隔振系统优化设计

发布时间：2017-07-05 00:17

  本文关键词：精密光学玻璃平板检测仪器的隔振系统优化设计

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【摘要】：伴随着科学技术的不断进步,精密加工设备和精密测量仪器的精度也在逐渐提高。来自环境的振动干扰对精密仪器的测量精度的影响不可忽略,精密测量仪器的隔振技术已成为本领域科学研究和工程应用中的重要课题。为了满足精密仪器工作时对振动的控制要求,需要针对不同的设备采用不同的隔振系统,来取得更加优异的隔振效果,使得精密仪器能够获得稳定的工作环境。本文针对一种高精度的大型平板显示屏自动光学检测仪器机台隔振系统,提出了双层隔振方案,较为系统地研究了双层隔振系统的有关基础理论,在此基础上对平板显示屏自动光学检测仪器的隔振系统进行了设计。主要研究内容包括：针对本文的双层隔振系统,采用四端参数法进行理论建模分析,建立了矢量四端网络参数模型。依据隔振原理,在Adams中建立精密光学检测仪器双层隔振系统模型,分析了单层隔振系统,与双层隔振系统对仪器设备隔振效果的影响；研究了双层隔振系统中隔振器的安装位置,隔振器刚度,基础板厚度,隔振器形状,以及中间质量和上层机械设备的质量比对隔振效果的影响；在理论研究基础上对平板显示屏自动光学检测仪器原理样机的隔振系统进行了优化设计。经过对研制的平板显示屏自动光学检测仪器原理样机测试,达到了预期隔振要求。本文在双层隔振系统的参数优化和设计方面的研究成果对于大型精密检测仪器的隔振系统设计具有一定的参考价值。
【关键词】：隔振 双层隔振系统 四端参数法 Adams仿真分析
【学位授予单位】：合肥工业大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2016
【分类号】：TB535.1
【目录】：

• 致谢7-8
• 摘要8-9
• ABSTRACT9-14
• 第一章 绪论14-22
• 1.1 课题研究背景、内容及意义14-15
• 1.2 国内外的研究历程和现状15-20
• 1.2.1 隔振系统的发展15-19
• 1.2.2 隔振器的研究19-20
• 1.3 本文主要内容20-22
• 第二章 双层隔振系统的建模及分析方法22-34
• 2.1 双层隔振系统的建模方法分析22-25
• 2.2 双层隔振系统的理论建模25-30
• 2.3 双层隔振系统振动传递的计算30-31
• 2.4 实际计算分析31-34
• 第三章 双层隔振系统的仿真研究和讨论34-47
• 3.1 隔振系统模型设计34-35
• 3.2 隔振系统的仿真模型简化35-37
• 3.3 隔振系统模型优化37-45
• 3.3.1 单层隔振系统和双层隔振系统的影响37-39
• 3.3.2 隔振器是否对称安装的影响39-40
• 3.3.3 隔振器刚度的影响40-42
• 3.3.4 隔振器形状的影响42-43
• 3.3.5 基础板厚度的影响43-44
• 3.3.6 中间质量与上层机械设备质量的质量比影响44-45
• 3.4 隔振系统模型优化结果45-47
• 第四章 隔振系统的设计47-52
• 4.1 隔振系统的结构设计47
• 4.2 隔振器的选择和布置47-52
• 4.2.1 隔振器的布置48
• 4.2.2 隔振器的选取48-52
• 第五章 隔振系统的试验验证52-55
• 5.1 试验系统52-53
• 5.2 试验结果53-55
• 第六章 总结和展望55-57
• 6.1 总结55
• 6.2 展望55-57
• 参考文献57-62
• 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况62

【参考文献】

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本文编号：519878