金刚石衬底的氧化钒薄膜光电特性研究

发布时间：2017-08-11 13:18

  本文关键词：金刚石衬底的氧化钒薄膜光电特性研究

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【摘要】：利用射频磁控溅射方法,在光学级单晶金刚石上制备了氧化钒薄膜,然后对其结构与厚度、表面形貌、电学及光学性能进行了表征。实验结果表明,制备出的薄膜表面均匀性良好,为单一组分的V_2O_5薄膜,在(001)面有明显的择优取向,薄膜结晶度和表面形貌非常好;电学性能方面,获得了三组不同厚度V_2O_5薄膜温阻特性曲线,当薄膜为150 nm时,薄膜的电学突变特性最好,电阻值变化幅度将近3个数量级;对不同厚度薄膜的光学响应特性进行了测试分析,当受到高能激光照射时,薄膜均出现了相变和回复,薄膜的光学开关时间均随着膜厚的增加而增加,其中光学关闭时间的变化范围为1.6~2.5 ms,回复时间的变化范围为26~33 ms。
【作者单位】： 南京航空航天大学机电学院;
【关键词】： VO薄膜 单晶金刚石 电学性能 光学特性
【基金】：国家自然科学基金(51275230) 航空科学基金(20140152001) 江苏省研究生培养创新工程(KYLX_0226) 中央高校基本科研业务费专项资金
【分类号】：O484.4
【正文快照】： 0引言临近空间飞行器是指工作于临近空间并利用临近空间独有资源和特点来执行一定任务的一类飞行器,由于其自身的显著特点,具有潜在的军、民两用价值而成为各国近期研究的热点[1-3]。但是红外激光武器的迅速崛起发展和投入实战,将对临近空间飞行器造成致命的威胁,近几年随着激

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