喷雾裂解法制备掺氟氧化锡导电薄膜

发布时间：2017-08-12 02:30

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【摘要】：以单丁基三氯化锡、氟化铵、无水甲醇、超纯水为原料制备反应热喷涂液,采用高温喷雾裂解工艺在玻璃基底上制备氟掺杂氧化锡(FTO)透明导电薄膜,研究了氟掺杂浓度对所制备FTO透明导电薄膜光、电性能的影响。研究结果表明,制备透明导电薄膜的最佳工艺参数为:基底温度500℃、掺杂浓度24 atom%、锡前体浓度0.5 M、喷涂次数60次及醇水比2:1,对应的透明导电玻璃方块电阻R_(sh)=11.3Ω/sqr,可见光区平均透光率T_(ave)=77.80%,品质因数Ф_(TC)=7.2×10-3/Ω,评估指标均接近商品级别。
【作者单位】： 景德镇陶瓷大学;国家日用及建筑陶瓷工程技术研究中心;
【关键词】： 喷雾裂解 FTO 方块电阻 透光率 品质因数
【基金】：江西省自然科学基金(20142BAB216012) 江西省教育厅落地计划项目(KJLD13075);江西省教育厅科技备案项目(GJJ150886) 景德镇市科技局项目(2012-02-20) 景德镇陶瓷大学博士启动经费(00401130129) 国家级大学生创新创业项目(201510408001)
【分类号】：TN304.21;TB383.2
【正文快照】： 透明氧化物导电薄膜(transparent conductiveoxide,简称TCO)由于其在可见光波段优异的透过性能及电学特性,在平面显示器、太阳能电池等领域得到广泛应用[1]。氟掺杂氧化锡导电薄膜(Sn O2:F,简称FTO)由于出色的光电性能及其良好的化学和热稳定性常作为太阳能电池器件中的电极衬

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本文编号：659372