全球MEMS传感器技术创新现状与趋势——基于2000-2014年专利分析

发布时间：2017-08-23 02:37

  本文关键词：全球MEMS传感器技术创新现状与趋势——基于2000-2014年专利分析

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【摘要】：以MEMS传感器为主要研究对象,基于德温特专利数据库中收录的优先权年为2000-2014年的MEMS传感器相关专利数据,以发展速度不同划分为三个阶段,分别讨论各阶段传感器类型、IPC分布以及专利权人分布的变化情况。结果表明MEMS传感器为市场导向型技术,不同阶段的研究重点与该阶段的市场需求有着紧密的联系,我国MEMS传感器在技术创新的同时应加快产业化的步伐。
【作者单位】： 中国科学技术信息研究所;
【关键词】： MEMS 微机电系统 专利分析 传感器 创新趋势
【基金】：国家科技图书文献中心(NSTL)重大专项服务资助项目“核心电子器件高端通用芯片和基础软件产品重大专项服务”(2014XM053)
【分类号】：TP212;G306
【正文快照】： MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比,它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时,微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。第一个微型

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