多层UV-LIGA惯性开关温度可靠性评估研究

发布时间：2017-10-18 10:08

  本文关键词：多层UV-LIGA惯性开关温度可靠性评估研究

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【摘要】：为了评估采用UV-LIGA技术制作的多层MEMS惯性开关的温度可靠性,进行了可靠性强化试验。介绍了开关的结构特征、工作原理和制作工艺。建立了试验系统,对开关进行温度循环和振动冲击试验。利用扫描电子显微镜观察开关失效模式,并利用公式进行热应力分析。试验结果表明,开关主要失效模式为位错和分层。开关热应力分析结果表明,种子层为开关薄弱位置。结合可靠性强化实验和热应力分析结果,从结构设计和制作工艺角度提出了可靠性强化方法。该研究为应用于极限温度环境下的多层UV-LIGA惯性器件的设计与制作提供了试验依据。
【作者单位】： 南京理工大学机械工程学院;
【关键词】： 微机电系统 惯性开关 可靠性强化试验
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51475245)
【分类号】：TH-39
【正文快照】： 0引言MEMS惯性开关具有尺寸小、功耗低、抗干扰能力强等优点,在工业、汽车、航天航空以及军事等多个领域得到应用。MEMS惯性开关既可采用硅材料制作[1],也可采用金属材料制作。硅基MEMS开关的制造工艺更加成熟,但是,硅属于脆性材料,在高冲击下的工作能力受到限制,并且硅的导电

【参考文献】

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【相似文献】

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本文编号：1054315