不同湿度条件下N、Si共掺杂DLC膜的摩擦学性能研究

发布时间：2017-12-26 14:36

  本文关键词：不同湿度条件下N、Si共掺杂DLC膜的摩擦学性能研究　出处：《摩擦学学报》2017年04期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：采用射频化学气相法沉积了氮、硅共掺杂类金刚石碳膜(N-Si-DLC).用X射线光电子能谱仪、拉曼光谱仪、表面形貌仪及扫描电子显微镜等对薄膜结构进行了表征,用球-盘往复摩擦试验机考察了不同湿度(RH为15%,45%和75%)空气中薄膜与316L不锈钢球配副的摩擦学性能.结果表明:与Si-DLC相比,N-Si-DLC膜内sp~2C成分含量较高,N主要以C=N、C≡N、Si-N键形式存在于膜内;膜的内应力低,硬度和杨氏模量较低;含N量少的N-Si-DLC膜显示出更低的摩擦与磨损,其摩擦学性能对湿度的变化表现出较低的敏感性.
【作者单位】： 上海大学机械工程与自动化学院;
【分类号】：TB383.2;TH117
【正文快照】： 类金刚石(diamond-like carbon,DLC)膜作为一种硬质自润滑薄膜材料,具有高硬度、高弹性模量和低摩擦磨损等优异的力学与摩擦学性能[1 2],在滑动接触表面具有广泛的应用前景,多年来已有大量的研究报道.其中,较高的残余应力和随之而来的DLC膜与基体之间的黏着失效是限制其在工

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本文编号：1337668