角度误差对空气轴承径向回转误差测量的影响规律研究

发布时间：2018-04-29 06:11

  本文选题：径向回转误差 + 反向法　； 参考：《制造技术与机床》2017年07期

【摘要】：在超精密空气轴承径向回转误差测量中,测量系统中带入的角度误差不能忽略。为此,详细分析了反向法下角度误差对测量结果的影响规律,并对测量系统制造、装配和数据采集过程进行了控制,在此基础上完成了径向回转误差测量实验。结果表明:通过对角度误差源的有效控制,所构建的测量系统能够很好地完成100 nm以内量级径向回转误差的测量,测量结果的一致性较好,所分离出标准球圆度误差与标称值吻合。
[Abstract]:In the measurement of radial rotation error of ultra-precision air bearing, the angle error can not be ignored. Therefore, the influence of the angle error on the measurement results under the reverse method is analyzed in detail, and the manufacturing, assembly and data acquisition processes of the measurement system are controlled. On this basis, the radial rotation error measurement experiment is completed. The results show that the measurement system is able to measure the radial rotation error within 100 nm through the effective control of the angle error source, and the measurement results are consistent with each other. The standard spherical roundness error is in agreement with the nominal value.
【作者单位】： 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所;
【基金】：中国工程物理研究院科技专项:基于数值模拟的静压支承优化设计与关键制造技术研究(9120602)
【分类号】：TH133.35

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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本文编号：1818726