300mm IC的自动物料搬运系统电气控制系统设计与实现

发布时间：2018-08-05 10:19

【摘要】：在集成电路(Integrated Circuit,IC)制造行业中,自动物料搬运系统(Automatic Material Handling System,AMHS)有效地提高了生产速度、缩短了生产周期,因此设计AMHS具有重要意义。文章分析了AMHS控制功能要求,确定了电气控制总体方案,进行了系统供配电方案设计,尤其是非接触供电,设计了关键设备的电气控制系统方案。通过分析实际装置的技术指标,表明所设计的300mm AMHS满足要求。
[Abstract]:In the Integrated circuit IC manufacturing industry, the automatic material handling system (Automatic Material Handling system can effectively improve the production speed and shorten the production cycle, so it is of great significance to design AMHS. This paper analyzes the requirements of AMHS control function, determines the overall scheme of electrical control, designs the scheme of power supply and distribution, especially non-contact power supply, and designs the scheme of electrical control system for key equipment. By analyzing the technical specifications of the actual device, it is shown that the designed 300mm AMHS meets the requirements.
【作者单位】： 沈阳职业技术学院;沈阳新松机器人自动化股份有限公司;
【基金】：国家科技重大专项02专项(2014ZX02103005)
【分类号】：TH22;TP273

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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