金刚石涂层机械密封环的制备与抛光特性研究

发布时间：2019-04-16 14:08

【摘要】：为延长机械密封环的工作寿命,采用热丝化学气相沉积法在碳化硅陶瓷机械密封环工作表面涂覆具有耐磨减摩特性的、厚度30~50μm微米金刚石(MCD)、纳米金刚石(NCD)和微纳米金刚石(MNCD)薄膜。分析结果表明:MCD薄膜的拉曼光谱具有明显的多晶金刚石特征峰,NCD和MNCD薄膜的拉曼光谱中出现了代表石墨和不定型碳的G峰和D峰。利用平面抛光实验,对比MCD、NCD和MNCD涂层机械密封环后续处理的抛光特性。实验结果表明:MNCD涂层抛光效率高且耐磨损性能优异,其综合使用性能优于MCD和NCD涂层,更适合涂覆在机械密封环表面,以增强其耐磨损性能。
[Abstract]:In order to prolong the working life of mechanical seal ring, hot wire chemical vapor deposition (CVD) method was used to coat silicon carbide ceramic mechanical seal ring with wear resistance and friction reducing property. The thickness of diamond (MCD), is 30 ~ 50 渭 m 渭 m. Nano-diamond (NCD) and micro-nano-diamond (MNCD) thin films. The results show that the Raman spectra of MCD thin films have obvious characteristic peaks of polycrystalline diamond and G and D peaks representing graphite and amorphous carbon appear in the Raman spectra of NCD and MNCD films. The polishing characteristics of MCD,NCD and MNCD coated mechanical seal rings were compared by plane polishing experiments. The experimental results show that the MNCD coating has high polishing efficiency and excellent wear resistance, and its comprehensive performance is better than that of MCD and NCD coatings. It is more suitable to be coated on the surface of mechanical seal ring to enhance its wear resistance.
【作者单位】： 华东理工大学机械与动力工程学院;上海交通大学机械与动力工程学院;
【基金】：中国博士后基金项目(2016M591614)
【分类号】：TH136

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本文编号：2458843