基于图像法环抛机盘面磨损状态检测研究

发布时间：2020-06-21 04:12

【摘要】：大型环形抛光机的沥青盘面磨损状态对光学玻璃元件抛光时长有着很大程度的影响。在超精密抛光工艺中,沥青盘面作为承载抛光液和直接参与抛光过程的介质,其表面磨损情况的变化会对光学玻璃工件的抛光时长和表面抛光质量造成十分重大的影响。因此,对环抛机沥青盘面的磨损状态检测可以掌握沥青盘面的情况并及时对抛光工艺做相对应的措施来优化抛光工艺并有效缩短光学玻璃的抛光加工时长。本文针对沥青盘面磨损状态检测尚未解决的难点,考虑到实际抛光加工情况,采用图像纹理分析法来实现对环抛机沥青盘面磨损状态的便捷的非接触式检测。本文研究的主要内容为:1)根据本实验采集到的沥青盘面图像的情况,运用图像灰度化、直方图均衡化和中值滤波等图像预处理方法对沥青盘面图像进行预处理。2)并在参考“寻求最大连通域”的思路上利用二值图像运算规则将所感兴趣的区域从采集到的图像中分割提取出来。并基于Retinex理论和利用伽马函数的独特性质对目标图像进行光照分量的提取并且将光照不均匀现象带来的影响降到尽可能低,以保证后续图像纹理分析的准确性和分析数据的可信性。3)基于灰度共生矩阵理论构造出适合于该目标图像的灰度共生矩阵,来对图像预处理后的沥青盘面图像进行相关的纹理特征参数提取处理。首先,根据沥青盘面图像特征和实际需求来确定出构造灰度共生矩阵所必需的三个构造参数:灰度数量级、步长和生成方向。然后,确定并提取出沥青盘面图像中构造的灰度共生矩阵的4个特征参数:能量、熵、对比度和相关性,并且对这四个特征参数作统计和分析。找出并建立这四个特征参数与沥青盘面磨损状态之间的某种联系。4)采用回归分析方法构建了沥青盘面磨损状态的检测模型,拟合了沥青盘面纹理特征参数与沥青盘面磨损状态检测关系的数学表达式。并通过多次验证实验来检验本文提出的方法的可行性与可信性。
【学位授予单位】：电子科技大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2019
【分类号】：TP391.41;TH69
【图文】：

第一章绪论重于玻璃石英和硅片的抛光方面上并取得了很多的成果[6]，所则在过去利用浸液抛光加工出了超光滑表面的精密元件所都曾经在古典抛光法[8]的超精密抛光实验中进行过相关的已经开始了很多关于新抛光工艺的研究，由于环抛工艺是需要各个方面的知识技术支持，因此能真正投入工厂生产。而目前我国超精密平面的加工仍然主要是通过环形分离Continuous Polishing）[9]来实现的。图 1-1 为我国专注于光的上海中晶企业发展有限公司所生产的型号为 CM6-4000

示意图,示意图,抛光盘,沥青

以改变抛光盘面面型，从而满足加工要求。除此件与盘面的接触状态、工件的材料、工件边缘效响。钝化在环抛过程中，沥青抛光盘面会受到光学抛光液中的颗粒也会对盘面进行机械作用的“破生钝化，其表现为磨损。抛光盘的磨损情况会直光学玻璃抛光表面质量。因此，抛光盘面的磨损艺因素[36]。形抛光机的工作台是由一个铺有沥青盘面的环形花岗岩材质的校正盘及一个或两个工件夹持盘所抛机也行开关启动时，主电机会驱动转台并使的速度可以通过操作台触控屏幕进行控制。校正用下以一定的速度进行反方向的转动，从而达到是为了修整沥青盘面的面形，使得盘面的面形能性。

【参考文献】