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基于固定流导元件的容积测量方法研究

发布时间:2020-12-05 23:54
  在真空科学、深空探测、石油化工及贸易运输等领域,容积的测量至关重要。而现有的测量方法中称重法的测量过程复杂、耗时长、仪器成本高,膨胀法需要制造多种规格的标准体积、弛豫时间较长、占用空间大,其他测量方法面临精度不高、受气体种类限制等问题。本文基于固定流导元件的分子流特性和动态差压衰减法对容器进行容积测量研究,固定流导元件以阳极多孔氧化铝(anodic aluminum oxide,AAO)为基底,利用打孔硅片作为掩模和支撑材料制作而成。待测容器通过AAO固定流导元件与压强恒定的基准环境连通,从真空到大气压条件下,AAO元件的流导始终保持恒定,AAO元件两端的动态差压衰减和容器容积、元件流导以及时间符合指数函数关系,通过测量AAO元件两端差压变化就可计算待测容器的容积。对不同气体传输速率下的容器内部温度波动进行了CFD仿真,在流导为7.5×10-6m3/s时温度波动不超过0.1K,制作出相应流导大小的AAO固定流导元件,搭建基于流量法的流导测量系统,对氮气、氦气和氩气流经固定流导元件时的流导进行精确测量,对应流导分别为1.162×10-... 

【文章来源】:合肥工业大学安徽省 211工程院校 教育部直属院校

【文章页数】:85 页

【学位级别】:硕士

【部分图文】:

基于固定流导元件的容积测量方法研究


容积测量应用领域Fig.1.1Applicationfieldofvolumetricmeasurement

系统图,容积测量,称重法,系统图


第一章 绪论,属于直接测量,它们只能实现对形状规则、简单的容器或者物体的容当测量形状、结构复杂的容器时,误差较大,而且成本较高,测量时间复杂。由于称重法、膨胀法、定流量充(放)气法、声速(充)排气法科学研究和工程实际中应用广泛,分别对其详细介绍。.1 称重法称重法的原理是以液体(通常是水)为介质,在被测容器未装介质时称,灌满液体之后再称出容器质量,根据容器承载的液体质量和密度,计体积,即为被测容积。以液体为介质虽然精度较高、成本低、绿色环保很难充满结构复杂的容器,容易产生气泡,导致测量误差变大,而且残影响容器的使用。而使用高纯气体作为介质时,不会污染容器也不会产,测量精度高,因此被国内外许多计量机构、研究院所广泛采用[12]。

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别表示充气前、后的压力和温度。家技术标准研究院分别将高纯 N2和 Ar 作为实验气体,利77L 标准室的 PVTt 系统进行了容积标定,保证了气体流量为 0.02%~0.05%[14-16]。日本的 Masahiro Ishibashi,和 Toshi了气体称重法对配置有11立方米标准室的PVTt气体流量17]。法也是在工程实际和科研工作中常用的一种容积测量方法,准体积作为参考。基本原理是:在容积为 V 的容器中充入为 p0,然后将其与抽至真空的容积为 V0的标准容器连通降至 p。根据理想气体状态方程和质量守恒定律,计算被测的赵澜等人对下图所示的气体微流量计系统进行了容积标测容器,采用多级膨胀的方法进行测量,其不确定度为

【参考文献】:
期刊论文
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博士论文
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硕士论文
[1]基于AAO的标准漏孔制作及其性能研究[D]. 赵永恒.合肥工业大学 2017
[2]三维激光扫描技术在立式金属罐容量计量中的应用研究[D]. 周晓雪.中国计量学院 2014
[3]高精度气体流量标准装置的建立[D]. 陈超.天津大学 2012



本文编号:2900318

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