空气静压轴承微振动分析及实验研究
发布时间：2021-01-11 03:07
空气静压轴承是指用空气来作为润滑介质的静压轴承,因为空气耐高温,无污染,空气静压轴承在半导体制造、高精度测量和超精密制造中被广泛使用。传统学者在对空气静压轴承进行研究时,把研究重点放在对空气静压轴承的静态特性上。通过对气体流动粘性不可压缩流体动量守恒方程进行求解,计算出空气静压轴承内气体流动状态,从而设计满足功能要求的空气静压轴承。随着超精密制造装备制造精度的不断提高,对空气静压轴承也提出了更高的要求,当气膜厚度降低到10μm以下时,气体稀薄效应开始对空气静压轴承的性能产生影响,传统研究方法不再适用,气膜内部的稳态振动也制约了空气静压轴承的应用前景。本文结合冲击射流和分子动力学的研究方法,对轴承内部气体流态进行分析。通过数值模拟计算和实验研究对空气静压轴承内部微振动形成机理进行分析,对影响微振动的因素影响规律进行探究,为空气静压轴承的设计提供新的思路和理论路线。本文主要研究内容如下:（1）空气静压轴承气膜在滑移区的承载特性研究分析了气膜润滑的基本定律,通过与气膜在滑移区的分层现象相结合,进行了数值模拟与实验分析。搭建了测量空气静压轴承承载的实验台,通过对实验数据和数值模拟结果的对比,分...
【文章来源】：昆明理工大学云南省
【文章页数】：91 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
IC制造芯片图
图 1.1 IC 制造芯片图 图 1.2 高精度光刻机Fig 1.1 IC manufacturing chip diagram Fig 1.2 Lithography图 1.3 三坐标测量仪Fig 1.3 Coordinate measuring instrument尽管空气静压轴承技术已取得了长足的进步，且在工程上得到了应用，但期以来，由于人们对于空气静压轴承微振动生成的机理以及承载特性的研究
图 1.3 三坐标测量仪Fig 1.3 Coordinate measuring instrumen技术已取得了长足的进步，且在于空气静压轴承微振动生成的机米级精度的超精密制造装备中，没有根本的改变。这些关键问题，也是提高我国高精密制造水平以液体为润滑介质[8]，气体润滑工作原理不同，气体润滑轴承可。
【参考文献】：
期刊论文
[1]微尺度下速度滑移对空气静压导轨性能影响[J]. 陈东菊,周帅,董丽华,范晋伟. 北京工业大学学报. 2015(11)
[2]空气静压导轨气膜波动主要影响因素分析[J]. 陈东菊,边艳华,周帅,范晋伟. 机械工程学报. 2014(15)
[3]超精密加工机床系统研究与未来发展[J]. 张建明,庞长涛. 航空制造技术. 2014(11)
[4]超精密加工技术与直线电动机在超精密加工装备中的应用[J]. 王昆,龚俭龙,曹斌. 新技术新工艺. 2014(01)
[5]国际半导体技术发展路线图（ITRS）2012版综述（1）[J]. 郭新军. 中国集成电路. 2013(11)
[6]广义Maxwell速度滑移边界模型[J]. 张海军,祝长生,杨琴,钟志贤. 中国科学:物理学 力学 天文学. 2013(05)
[7]稀薄气体动力学:进展与应用[J]. 樊菁. 力学进展. 2013(02)
[8]Static characteristics of new type externally pressurized spherical air bearings[J]. 王福生,包钢. Journal of Central South University of Technology. 2011(04)
[9]平面静压气浮轴承垂直微冲击的稳定性[J]. 李陆军,张鸣,胡金春,朱煜. 清华大学学报(自然科学版). 2011(06)
[10]超精密加工领域科学技术发展研究[J]. 袁巨龙,张飞虎,戴一帆,康仁科,杨辉,吕冰海. 机械工程学报. 2010(15)
博士论文
[1]流体在纳米微通道中的流动及传输特性研究[D]. 张忠强.大连理工大学 2010
[2]超精密气浮定位工作台的动力学研究[D]. 何学明.华中科技大学 2007
硕士论文
[1]超高速空气静压电主轴的动静态性能分析与实验研究[D]. 舒鹏程.广东工业大学 2011
本文编号：2969955
【文章来源】：昆明理工大学云南省
【文章页数】：91 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
IC制造芯片图
图 1.1 IC 制造芯片图 图 1.2 高精度光刻机Fig 1.1 IC manufacturing chip diagram Fig 1.2 Lithography图 1.3 三坐标测量仪Fig 1.3 Coordinate measuring instrument尽管空气静压轴承技术已取得了长足的进步，且在工程上得到了应用，但期以来，由于人们对于空气静压轴承微振动生成的机理以及承载特性的研究
图 1.3 三坐标测量仪Fig 1.3 Coordinate measuring instrumen技术已取得了长足的进步，且在于空气静压轴承微振动生成的机米级精度的超精密制造装备中，没有根本的改变。这些关键问题，也是提高我国高精密制造水平以液体为润滑介质[8]，气体润滑工作原理不同，气体润滑轴承可。
【参考文献】：
期刊论文
[1]微尺度下速度滑移对空气静压导轨性能影响[J]. 陈东菊,周帅,董丽华,范晋伟. 北京工业大学学报. 2015(11)
[2]空气静压导轨气膜波动主要影响因素分析[J]. 陈东菊,边艳华,周帅,范晋伟. 机械工程学报. 2014(15)
[3]超精密加工机床系统研究与未来发展[J]. 张建明,庞长涛. 航空制造技术. 2014(11)
[4]超精密加工技术与直线电动机在超精密加工装备中的应用[J]. 王昆,龚俭龙,曹斌. 新技术新工艺. 2014(01)
[5]国际半导体技术发展路线图（ITRS）2012版综述（1）[J]. 郭新军. 中国集成电路. 2013(11)
[6]广义Maxwell速度滑移边界模型[J]. 张海军,祝长生,杨琴,钟志贤. 中国科学:物理学 力学 天文学. 2013(05)
[7]稀薄气体动力学:进展与应用[J]. 樊菁. 力学进展. 2013(02)
[8]Static characteristics of new type externally pressurized spherical air bearings[J]. 王福生,包钢. Journal of Central South University of Technology. 2011(04)
[9]平面静压气浮轴承垂直微冲击的稳定性[J]. 李陆军,张鸣,胡金春,朱煜. 清华大学学报(自然科学版). 2011(06)
[10]超精密加工领域科学技术发展研究[J]. 袁巨龙,张飞虎,戴一帆,康仁科,杨辉,吕冰海. 机械工程学报. 2010(15)
博士论文
[1]流体在纳米微通道中的流动及传输特性研究[D]. 张忠强.大连理工大学 2010
[2]超精密气浮定位工作台的动力学研究[D]. 何学明.华中科技大学 2007
硕士论文
[1]超高速空气静压电主轴的动静态性能分析与实验研究[D]. 舒鹏程.广东工业大学 2011
本文编号：2969955
本文链接：https://www.wllwen.com/jixiegongchenglunwen/2969955.html
