光刻机机电系统动态仿真软件设计与开发
发布时间:2021-02-01 23:05
机电系统建模和动态仿真分析是光刻机设计过程中确保整机系统稳定性和高精度的关键步骤。已有相关建模仿真软件对于复杂光刻机机电系统设计开发流程支撑不足,没有融入多领域的设计知识,亟需开发一款针对性强的光刻机机电系统高效动态仿真软件。本文基于动态设计理念设计与开发一款面向光刻机精密运动平台机电系统设计的软件动态仿真软件。该软件封装集成了光刻机关键组件、系统模型动力学建模和分析方法,能够有机地融入到研发单位的设计规程中,从而辅助设计人员快速实现对光刻机机电系统设计方案的仿真、分析与优化,提高光刻机的开发效率,缩短设计周期。本文主要开展了以下工作:首先,研究了光刻机机电系统设计开发流程,总结了一套动力学驱动的光刻机机电系统设计流程。提出了一种具有可拓展性强,稳定高效等特点的软件开发技术路线。接着设计了软件架构和工作流程,确定了实现参数化建模及动力学分析功能的软件开发关键点。然后,针对光刻机机电系统等关键单元和独立子系统,分析其在光刻机机电系统下的工作动态特性,抽象出参数化建模模板,构建光刻机专业模板库,在模板库的支持下设计软件关键的参数化建模和动力学分析优化功能基于脚本的实现方式。最后,设计开发了...
【文章来源】:华中科技大学湖北省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校
【文章页数】:86 页
【学位级别】:硕士
【部分图文】:
L型构型XY运动平台
华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文图 3.1 气浮支承导向的单自由度运动平台由于其光刻机机电系统为平台式结构,为了实现系统预期的运动,必须设计导轨进导向,因此导轨的布置型式成为其结构关键组件设计的重要指标。目前常采用的导轨置型式有“L”型导轨、 “十”字型导轨、“H”型导轨、“口”型导轨,如图 3.2 到 3.5 所示。支承气浮组V导向气浮组HXY
图 3.1 气浮支承导向的单自由度运动平台由于其光刻机机电系统为平台式结构,为了实现系统预期的运动,必须设计导轨进导向,因此导轨的布置型式成为其结构关键组件设计的重要指标。目前常采用的导轨置型式有“L”型导轨、 “十”字型导轨、“H”型导轨、“口”型导轨,如图 3.2 到 3.5 所示。图 3.2 L 型构型 XY 运动平台 图 3.3 “十”字型构型 XY 运动平台X
【参考文献】:
期刊论文
[1]2017年中国集成电路产业现状分析[J]. 魏少军. 集成电路应用. 2017(04)
[2]面向多刚体动力学仿真的自动装配技术研究[J]. 杨显刚,何玉林,金鑫,李成武. 机械科学与技术. 2015(01)
[3]CAD模型约束向多体动力学模型运动副的转换[J]. 徐海峰,陈钢,张卫国. 机械工程与自动化. 2014(04)
[4]模糊PID控制原理及其仿真[J]. 花齐. 无线互联科技. 2013(07)
[5]基于虚拟样机的送料机械手运动控制仿真[J]. 龚俊锋. 三明学院学报. 2011(05)
[6]光刻机步进扫描运动轨迹重叠规划算法[J]. 穆海华,周云飞,周艳红. 机械工程学报. 2010(07)
[7]基于SimMechanicsTM的液压挖掘机机构建模[J]. 阮鸿雁,陈建利,陈俊强,张建柱. 机床与液压. 2009(12)
[8]基于ADAMS和MATLAB的动力学联合仿真[J]. 何亚银. 现代机械. 2007(05)
[9]Modelica模型的相容初始化[J]. 丁建完,周凡利,陈立平. 系统仿真学报. 2007(17)
[10]Modelica语言及其多领域统一建模与仿真机理[J]. 赵建军,丁建完,周凡利,陈立平. 系统仿真学报. 2006(S2)
博士论文
[1]超精密运动平台中气浮支承振动特性的研究[D]. 叶燚玺.华中科技大学 2010
[2]面向精密仪器设备的主动隔振关键技术研究[D]. 李国平.浙江大学 2010
[3]基于约束拓扑变换的大规模复杂多刚体系统振动分析[D]. 姜伟.华中科技大学 2008
[4]机械系统虚拟样机平台建模技术与动力学求解研究[D]. 夏鸿建.华中科技大学 2008
[5]超精密气浮定位工作台的动力学研究[D]. 何学明.华中科技大学 2007
[6]陈述式仿真模型相容性分析与约简方法研究[D]. 丁建完.华中科技大学 2006
硕士论文
[1]精密运动平台控制策略设计与仿真软件模块开发[D]. 张世豪.华中科技大学 2016
[2]精密运动平台减振系统设计与仿真软件开发[D]. 张志.华中科技大学 2016
[3]面向精密运动平台结构设计的多领域建模软件研究与开发[D]. 任岚晖.华中科技大学 2015
[4]硅片台系统动力学与控制联合仿真[D]. 罗健.华中科技大学 2012
[5]精密运动平台高精度PID控制器研究[D]. 杜飞.中南大学 2008
[6]多体动力学模型到多领域模型的转换研究[D]. 张和华.华中科技大学 2008
[7]光刻机精密气浮工件台的振动特性分析及运动控制[D]. 鲍秀兰.华中科技大学 2007
[8]面向机械系统动力学建模的模型描述语言研究[D]. 江继都.华中科技大学 2006
[9]虚拟样机中运动副约束识别技术及其在性能分析中的应用研究[D]. 张宁宁.浙江大学 2005
本文编号:3013588
【文章来源】:华中科技大学湖北省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校
【文章页数】:86 页
【学位级别】:硕士
【部分图文】:
L型构型XY运动平台
华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文图 3.1 气浮支承导向的单自由度运动平台由于其光刻机机电系统为平台式结构,为了实现系统预期的运动,必须设计导轨进导向,因此导轨的布置型式成为其结构关键组件设计的重要指标。目前常采用的导轨置型式有“L”型导轨、 “十”字型导轨、“H”型导轨、“口”型导轨,如图 3.2 到 3.5 所示。支承气浮组V导向气浮组HXY
图 3.1 气浮支承导向的单自由度运动平台由于其光刻机机电系统为平台式结构,为了实现系统预期的运动,必须设计导轨进导向,因此导轨的布置型式成为其结构关键组件设计的重要指标。目前常采用的导轨置型式有“L”型导轨、 “十”字型导轨、“H”型导轨、“口”型导轨,如图 3.2 到 3.5 所示。图 3.2 L 型构型 XY 运动平台 图 3.3 “十”字型构型 XY 运动平台X
【参考文献】:
期刊论文
[1]2017年中国集成电路产业现状分析[J]. 魏少军. 集成电路应用. 2017(04)
[2]面向多刚体动力学仿真的自动装配技术研究[J]. 杨显刚,何玉林,金鑫,李成武. 机械科学与技术. 2015(01)
[3]CAD模型约束向多体动力学模型运动副的转换[J]. 徐海峰,陈钢,张卫国. 机械工程与自动化. 2014(04)
[4]模糊PID控制原理及其仿真[J]. 花齐. 无线互联科技. 2013(07)
[5]基于虚拟样机的送料机械手运动控制仿真[J]. 龚俊锋. 三明学院学报. 2011(05)
[6]光刻机步进扫描运动轨迹重叠规划算法[J]. 穆海华,周云飞,周艳红. 机械工程学报. 2010(07)
[7]基于SimMechanicsTM的液压挖掘机机构建模[J]. 阮鸿雁,陈建利,陈俊强,张建柱. 机床与液压. 2009(12)
[8]基于ADAMS和MATLAB的动力学联合仿真[J]. 何亚银. 现代机械. 2007(05)
[9]Modelica模型的相容初始化[J]. 丁建完,周凡利,陈立平. 系统仿真学报. 2007(17)
[10]Modelica语言及其多领域统一建模与仿真机理[J]. 赵建军,丁建完,周凡利,陈立平. 系统仿真学报. 2006(S2)
博士论文
[1]超精密运动平台中气浮支承振动特性的研究[D]. 叶燚玺.华中科技大学 2010
[2]面向精密仪器设备的主动隔振关键技术研究[D]. 李国平.浙江大学 2010
[3]基于约束拓扑变换的大规模复杂多刚体系统振动分析[D]. 姜伟.华中科技大学 2008
[4]机械系统虚拟样机平台建模技术与动力学求解研究[D]. 夏鸿建.华中科技大学 2008
[5]超精密气浮定位工作台的动力学研究[D]. 何学明.华中科技大学 2007
[6]陈述式仿真模型相容性分析与约简方法研究[D]. 丁建完.华中科技大学 2006
硕士论文
[1]精密运动平台控制策略设计与仿真软件模块开发[D]. 张世豪.华中科技大学 2016
[2]精密运动平台减振系统设计与仿真软件开发[D]. 张志.华中科技大学 2016
[3]面向精密运动平台结构设计的多领域建模软件研究与开发[D]. 任岚晖.华中科技大学 2015
[4]硅片台系统动力学与控制联合仿真[D]. 罗健.华中科技大学 2012
[5]精密运动平台高精度PID控制器研究[D]. 杜飞.中南大学 2008
[6]多体动力学模型到多领域模型的转换研究[D]. 张和华.华中科技大学 2008
[7]光刻机精密气浮工件台的振动特性分析及运动控制[D]. 鲍秀兰.华中科技大学 2007
[8]面向机械系统动力学建模的模型描述语言研究[D]. 江继都.华中科技大学 2006
[9]虚拟样机中运动副约束识别技术及其在性能分析中的应用研究[D]. 张宁宁.浙江大学 2005
本文编号:3013588
本文链接:https://www.wllwen.com/jixiegongchenglunwen/3013588.html