高纯铜再结晶行为及其晶粒细化工艺研究
发布时间：2021-05-20 12:41
液晶显示行业对于高纯铜溅射靶材溅射效率及沉积薄膜均匀性要求不断提升,对于高纯铜溅射靶材的晶粒细化、均匀性要求也越来越高。本文通过高纯铜靶坯锻打、热处理、冷轧与热处理四步法试验,通过两次动态再结晶、静态再结晶,从而达到晶粒细化、均匀化的目的,以此优化现有工艺。通过热力模拟试验,研究了高纯铜的高温行为,研究表明,温度达到500℃时出现明显的动态再结晶行为,变形量超过70%,细化作用趋缓。以此理论指导,本文设计了四步法加工工艺,具体为:锻打的温度范围控制为490℃500℃,变形量控制在80%以上;一次热处理:200℃310℃,保温时长:30min90min;冷轧为单向轧制,变形量控制在56%72%;二次热处理:≥200℃,保温时长:≥60min。高纯铜一次细化工艺,由锻打和热处理两步组成,通过采用温度500℃、变形量80%的锻打工艺,使晶粒细化至50μm70μm;通过保温温度210℃310℃、保温时间30min90min的一次热处理工艺再次...
【文章来源】：哈尔滨工业大学黑龙江省 211工程院校 985工程院校
【文章页数】：87 页
【学位级别】：硕士
【文章目录】：
摘要
ABSTRACT
第1章 绪论
1.1 课题背景及研究的目的和意义
1.2 金属材料再结晶与晶粒细化
1.2.1 金属材料的动态再结晶行为
1.2.2 金属材料的静态再结晶行为
1.3 铜与铜合金再结晶与晶粒细化
1.3.1 铜合金再结晶与晶粒细化工艺
1.3.2 纯铜再结晶与晶粒细化工艺
1.4 本文的主要研究内容
第2章 试验材料与试验方法
2.1 技术路线
2.2 试验材料
2.3 试验所需仪器设备
2.4 试验方案
2.4.1 铜热压缩及动态再结晶研究方案
2.4.2 铜变形退火下的静态再结晶行为研究方案
第3章 高纯铜热变形行为及再结晶工艺设计
3.1 引言
3.2 高纯铜热变形行为
3.2.1 热变形参数的影响
3.2.2 加工硬化行为
3.2.3 高纯铜的软化
3.2.4 流变应力本构方程
3.3 高纯铜动态再结晶的金相分析
3.3.1 变形温度对于动态再结晶的作用
3.3.2 变形量对动态再结晶的影响
3.4 高纯铜晶粒细化工艺设计
3.4.1 热变形后再结晶工艺参数
3.4.2 冷变形后再结晶工艺参数
3.5 本章小结
第4章 热变形后再结晶退火对高纯铜晶粒尺寸的影响
4.1 热变形及再结晶退火试验设计
4.1.1 锻打试验设计
4.1.2 锻打后热处理试验设计
4.2 热变形组织分析
4.3 热处理组织分析
4.4 本章小结
第5章 冷变形后再结晶退火对高纯铜晶粒尺寸的影响
5.1 引言
5.2 冷变形工艺对组织的影响
5.3 冷变形后热处理工艺对组织的影响
5.4 LCD大型铜靶生产工艺验证
5.4.1 LCD大型铜靶晶粒细化生产工艺设计及实施
5.4.2 LCD大型铜靶晶粒度验证
5.5 本章小结
结论
参考文献
致谢
个人简历
【参考文献】：
期刊论文
[1]Cu-3.2Ni-0.75Si合金再结晶行为研究[J]. 宋江,王迎鲜,党景波,段超. 热加工工艺. 2016(18)
[2]BFe10-1-1铜合金的热压缩本构方程[J]. 刘建波,宁爱林,刘顺同. 邵阳学院学报(自然科学版). 2016(02)
[3]层错能对铜合金室温变形及退火过程中晶粒细化的影响[J]. 李祎,张祥凯,何克坚,杨续跃. 中国有色金属学报. 2016(01)
[4]Cu-Ag合金的冷加工硬化及再结晶温度[J]. 马吉苗,汪东亚,郑芸,刘峰,沈骥,彭丽军. 特种铸造及有色合金. 2015(09)
[5]高强度Fe-Co软磁合金热处理工艺研究[J]. 韩劲,倪志铭,燕绍九. 金属热处理. 2015(03)
[6]汽车用高强度钢在退火过程中的再结晶行为及组织分析[J]. 韩风. 铸造技术. 2014(11)
[7]转速对铜材连续挤压产品组织性能的影响[J]. 陈莉,裴久杨,刘元文,宋宝韫. 锻压技术. 2014(04)
[8]霍尼韦尔推出新型半导体铜锰溅射靶材[J]. 电子设计工程. 2014(07)
[9]热加工参数对GH738合金动态再结晶行为的影响[J]. 刘辉,蔡新宇. 钢铁研究学报. 2014(03)
[10]块体纯铜的多尺寸晶粒混合结构及力学性能[J]. 范爱玲,张姗,黄浪,丁艳凤,李辉. 稀有金属. 2013(05)
博士论文
[1]深度塑性形变对镁合金微观组织和强塑性影响研究[D]. 罗小萍.太原科技大学 2013
[2]大变形异步叠轧与热处理调控超细晶铜组织结构与性能研究[D]. 周蕾.昆明理工大学 2013
硕士论文
[1]超细晶铜合金制备工艺与性能表征[D]. 徐宇超.哈尔滨工程大学 2016
[2]强磁场下纯铜板的再结晶组织与织构的形成过程和演变机理[D]. 王艳.东北大学 2013
本文编号：3197773
【文章来源】：哈尔滨工业大学黑龙江省 211工程院校 985工程院校
【文章页数】：87 页
【学位级别】：硕士
【文章目录】：
摘要
ABSTRACT
第1章 绪论
1.1 课题背景及研究的目的和意义
1.2 金属材料再结晶与晶粒细化
1.2.1 金属材料的动态再结晶行为
1.2.2 金属材料的静态再结晶行为
1.3 铜与铜合金再结晶与晶粒细化
1.3.1 铜合金再结晶与晶粒细化工艺
1.3.2 纯铜再结晶与晶粒细化工艺
1.4 本文的主要研究内容
第2章 试验材料与试验方法
2.1 技术路线
2.2 试验材料
2.3 试验所需仪器设备
2.4 试验方案
2.4.1 铜热压缩及动态再结晶研究方案
2.4.2 铜变形退火下的静态再结晶行为研究方案
第3章 高纯铜热变形行为及再结晶工艺设计
3.1 引言
3.2 高纯铜热变形行为
3.2.1 热变形参数的影响
3.2.2 加工硬化行为
3.2.3 高纯铜的软化
3.2.4 流变应力本构方程
3.3 高纯铜动态再结晶的金相分析
3.3.1 变形温度对于动态再结晶的作用
3.3.2 变形量对动态再结晶的影响
3.4 高纯铜晶粒细化工艺设计
3.4.1 热变形后再结晶工艺参数
3.4.2 冷变形后再结晶工艺参数
3.5 本章小结
第4章 热变形后再结晶退火对高纯铜晶粒尺寸的影响
4.1 热变形及再结晶退火试验设计
4.1.1 锻打试验设计
4.1.2 锻打后热处理试验设计
4.2 热变形组织分析
4.3 热处理组织分析
4.4 本章小结
第5章 冷变形后再结晶退火对高纯铜晶粒尺寸的影响
5.1 引言
5.2 冷变形工艺对组织的影响
5.3 冷变形后热处理工艺对组织的影响
5.4 LCD大型铜靶生产工艺验证
5.4.1 LCD大型铜靶晶粒细化生产工艺设计及实施
5.4.2 LCD大型铜靶晶粒度验证
5.5 本章小结
结论
参考文献
致谢
个人简历
【参考文献】：
期刊论文
[1]Cu-3.2Ni-0.75Si合金再结晶行为研究[J]. 宋江,王迎鲜,党景波,段超. 热加工工艺. 2016(18)
[2]BFe10-1-1铜合金的热压缩本构方程[J]. 刘建波,宁爱林,刘顺同. 邵阳学院学报(自然科学版). 2016(02)
[3]层错能对铜合金室温变形及退火过程中晶粒细化的影响[J]. 李祎,张祥凯,何克坚,杨续跃. 中国有色金属学报. 2016(01)
[4]Cu-Ag合金的冷加工硬化及再结晶温度[J]. 马吉苗,汪东亚,郑芸,刘峰,沈骥,彭丽军. 特种铸造及有色合金. 2015(09)
[5]高强度Fe-Co软磁合金热处理工艺研究[J]. 韩劲,倪志铭,燕绍九. 金属热处理. 2015(03)
[6]汽车用高强度钢在退火过程中的再结晶行为及组织分析[J]. 韩风. 铸造技术. 2014(11)
[7]转速对铜材连续挤压产品组织性能的影响[J]. 陈莉,裴久杨,刘元文,宋宝韫. 锻压技术. 2014(04)
[8]霍尼韦尔推出新型半导体铜锰溅射靶材[J]. 电子设计工程. 2014(07)
[9]热加工参数对GH738合金动态再结晶行为的影响[J]. 刘辉,蔡新宇. 钢铁研究学报. 2014(03)
[10]块体纯铜的多尺寸晶粒混合结构及力学性能[J]. 范爱玲,张姗,黄浪,丁艳凤,李辉. 稀有金属. 2013(05)
博士论文
[1]深度塑性形变对镁合金微观组织和强塑性影响研究[D]. 罗小萍.太原科技大学 2013
[2]大变形异步叠轧与热处理调控超细晶铜组织结构与性能研究[D]. 周蕾.昆明理工大学 2013
硕士论文
[1]超细晶铜合金制备工艺与性能表征[D]. 徐宇超.哈尔滨工程大学 2016
[2]强磁场下纯铜板的再结晶组织与织构的形成过程和演变机理[D]. 王艳.东北大学 2013
本文编号：3197773
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