多变量工序能力指数评价模型研究与应用

发布时间：2024-12-07 06:29

　　随着IC工艺设计水平的提高,目前对单个工艺参数进行工序能力评价已不能满足实际工艺生产的要求,必须考虑多个工艺参数共同对产品质量整体的作用。为此目的,多变量工序能力指数的应用被提上日程。本文首先介绍了目前国际上现有的基于工艺规范的多变量工序能力指数定义并对其优缺点作了分析和研究。然后提出了基于成品率的多变量工序能力指数模型,并且根据概率乘法定理,利用以条件数学期望和方差为参数的一维正态分布近似代替原来的条件分布,从而得出计算二维标准正态分布函数值的近似公式。通过数值积分结果比较表明,近似公式计算简单,应用方便,精度较好。从而保证了基于成品率的多变量工序能力指数模型的可行性与精确度。在对二维正态分布的点估计研究基础之上,介绍了针对该分布的优化拟合方法。其中介绍了样本数据的二维正态性检验方法及多维数据经验分布函数的不同定义。最后,对基于主成分权重的多变量工序能力指数模型作了改进,使之能够更为全面的表征工艺工序能力水平。同时提出了基于因子权重的多变量工序能力指数模型。通过实例对比表明,基于工艺成品率的多变量工序能力指数模型更为实用化。

【文章页数】：81 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

图2-1工艺参数分布中心μ与规范中心0T偏离1.5σ

工序能力指数PkC序能力指数的定义的元器件生产中，工艺参数分布中心μ与工艺规范中心0T，因为在整个工艺流程中不可能全部采用闭环工艺控制，制，因此在加工工艺参数时，不可能精确控制元器件某一艺参数规范中心值处时结束该道生产工序，实际上都是先结果调整工艺条件。即使是在闭环工艺控制条件....

图2.3两道工序数据概率分布图(pkC=0.50)

pkC=0.50)分析图2.3中两道工序对应不同的成品率的原因，主要是因为pC表征的是工序的潜在能力，规范区间的中间值必须和样本均值重合，而实际工序能力指数没有这样的要求。因此当样本均值和规范区间中间值不重合，并且标准偏差也不一样时，可以得出相同的工序能力指数，但是成品率却不....

图2.4不同偏离情况下工艺不合格品率PPM值与工序能力指数的关系

可以得出相同的工序能力指数，但是成品率却不相同。对正态分布的工艺参数，在工艺参数规范中心与工艺参数分布中心重合以及不同偏离情况下，工艺不合格品率与工序能力指数的关系如图2.4所示：图2.4不同偏离情况下工艺不合格品率PPM值与工序能力指数的关系pC只是反映了工艺规范控制限与工....

图2.5二维情形下工艺规范和99.73%工艺分布区域式(2-14)的具体表达式由Jessenberger.C.Weihs[40]

由数理统计理论知，当工艺数据服从多维正态分布时2R是椭圆（或椭球）区域。下图2.5以二维情况为例，说明了工艺规范和工艺分布区域。图2.5二维情形下工艺规范和99.73%工艺分布区域式(2-14)的具体表达式由Jessenberger.C.Weihs[40]提出，称之为....

本文编号：4014954