基于窄带水平集算法的三维表面工艺模拟系统（英文）

发布时间：2017-07-03 17:01

  本文关键词：基于窄带水平集算法的三维表面工艺模拟系统（英文）

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【摘要】：表面工艺是MEMS制造的一种重要方法,实现其加工过程的计算机仿真可以为相关MEMS工艺研究和器件开发提供技术支持,减少相关MEMS产品的开发成本,缩短其开发周期。基于窄带水平集算法完成了表面加工工艺的三维表面工艺模拟系统。窄带水平集算法稳定,计算速度快处理拓扑变形非常灵活,本文将其应用于该软件仿真系统中,并进行了一列的仿真实验,将仿真结果与实际的流片电镜图对比,验证了仿真系统的精确性。
【作者单位】： 东南大学MEMS教育部重点实验室;
【关键词】： MEMS 仿真系统 三维表面微机械加工工艺 窄带水平集
【基金】：国家863计划项目(2015AA042604)
【分类号】：TH-39;TP391.9
【正文快照】： The surface micromachining process has a good compatibility with the CMOS technology,and at the same time it is also one of the most common and commercialized processing techniques,and one core technology for the super-large-scale integration.It can take

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本文编号：514433