MEMS惯性器件的主要失效模式和失效机理研究

发布时间：2017-09-08 22:23

  本文关键词：MEMS惯性器件的主要失效模式和失效机理研究

  更多相关文章： 微机电系统(MEMS)惯性器件 可靠性 失效模式 失效机理

【摘要】：针对微机电系统(MEMS)器件的可靠性问题,通过大量的历史资料调研和失效信息收集等方法,针对微机电系统(MEMS)器件的可靠性问题,对冲击、振动、湿度、温变、辐照和静电放电(ESD)等不同环境应力条件下的MEMS惯性器件典型失效模式及失效机理进行了深入分析和总结,研究结果有利于指导未来MEMS惯性器件的失效分析和可靠性设计。
【作者单位】： 工业和信息化部电子第五研究所电子元器件可靠性物理及其应用技术重点实验室;广东工业大学自动化学院;华南理工大学电子与信息学院;
【关键词】： 微机电系统(MEMS)惯性器件 可靠性 失效模式 失效机理
【分类号】：TH-39
【正文快照】： 0引言微电子机械系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)是集成的微型系统,它结合了电子、机械或其他(磁、液体和热等)元件,通常采用传统的半导体批量工艺技术来制造[1]。MEMS惯性器件是指敏感结构采用微加工手段加工的微机械陀螺和微加速度计,其中陀螺用于测量运动体的

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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本文编号：816664