极紫外光源参数对极紫外辐照损伤测试系统聚焦光束性能的影响

发布时间：2024-06-02 09:02

　　实验研究了放电频率、电脉冲能量、碎屑缓冲气体流量等极紫外光源参数对极紫外辐照损伤测试系统聚焦光束性能的影响。测试结果表明:极紫外辐照损伤测试系统焦深为±1.5 mm;聚焦光斑尺寸及单脉冲能量随光源电脉冲能量的增大而明显增大,受光源放电频率影响较小;典型工作条件下,光斑尺寸在0.79～1.44 mm之间,聚焦光束单脉冲能量在112.09～436.06μJ范围内;在200 Hz、5.0 J时聚焦光束单脉冲能量最高为436.06μJ,聚焦光束单脉冲能量密度最高达到31.53 mJ/cm²,在1500 Hz、4.6 J时聚焦功率密度达32.87 W/cm²;最优缓冲气体Ar气工作气压为1～2 Pa,此时聚焦光束单脉冲能量最优。该测试研究可为极紫外辐照损伤测试研究中系统参数优化及设置提供指导参考。

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【部分图文】：

图4光斑尺寸随电脉冲能量的变化情况

图3光斑尺寸随光源放电频率的变化曲线表1所示为不同放电频率、不同电脉冲能量下光斑大小随着输入功率的变化情况,测试了7种典型工作条件下的光斑情况。典型的工作条件主要包括低频率下的高电脉冲能量、中等频率下的中等电脉冲能量、高频率下的低电脉冲能量等工作条件。在相近输入功率下,电脉冲能....

图8聚焦光束单脉冲能量密度和功率密度

表3典型光源工作条件下焦点处的单脉冲能量密度和功率密度Table3SinglepulseenergydensityandpowerdensityatfocusundertypicalworkingconditionsNo.Frequency/Hz....

图2聚焦点附近光斑大小变化情况

3.1系统焦深通过从德国Bruker定制的可沿着光轴移动的EUV光斑测试系统,测试焦点及离焦处光斑的大小。EUV光斑测试原理在文献[18]中已有叙述,通过Ce:YAG荧光片将EUV光转换成550nm的可见光,然后成像到CCD上。本实验所定制的EUV光斑测试系统的CCD的探测面....

图3光斑尺寸随光源放电频率的变化曲线

在MoSi反射镜及光路其他各部件固定的情况下,实验中只有光源等离子体的尺寸特性会对聚焦光斑的尺寸产生影响,因此具体测试了光源放电频率、电脉冲能量及总输入功率对聚焦光斑尺寸的影响。图3所示为光斑尺寸随放电频率的变化情况,可以看出:在3.0J的电脉冲能量下,放电频率为300,500....

本文编号：3987121