等离子体内部电磁场探针研究与设计
【图文】:
通过改变探针内导体的对应方向,能够分别测量 X 和 Y 方向的电场分量。(a)同轴磁场探针 (b)同轴法向电场探针 (c)同轴切向电场探针图1.1 同轴结构电磁场探针
这种探针的应用范围非常局限。(a)双环磁场探针 (b)方形磁场探针图1.2 磁场探针1991 年,Bansal 和 Grzybowski 研究设计了具有特殊结构的磁场探针[14],与以往探针不同的是,该探针采用的是一种半环形结构,,虽然探针具有良好的性能,但是由于制造成本高昂,而且制作起来非常复杂,并不适用于大规模应用。为了解决所有与现有磁场探头有关的问题,1995 年,Yingjie Gao 和 Ingo Wolff 设计了一种新型的方形磁场探头[15],如图 1.2(b)所示。该磁场探头可用于平面高频电路中的磁场分布测量。首先在 3×20mm RT Duorid 衬底( 2.2, 0.5r=ε =h mm)上蚀刻探针和短传输线
【学位授予单位】:西安电子科技大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2019
【分类号】:V419;O53
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本文编号:2592199
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