NiCrAlY薄膜应变计的研制

发布时间：2017-07-16 06:20

  本文关键词：NiCrAlY薄膜应变计的研制

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【摘要】：采用射频磁控溅射法在Ni基高温合金拉伸件上制备Ni Cr Al Y薄膜应变计。研究了热稳定处理对Ni Cr Al Y薄膜结构、表面形貌的影响,并且测试了Ni Cr Al Y薄膜应变计的电学与应变性能。结果表明:热稳定处理后Ni Cr Al Y薄膜应变计由于在表面形成了一层Al2O3膜,具有抗高温氧化的特性,在室温~800℃范围内,应变计电阻同温度呈线性变化,电阻温度系数(TCR)约为290×10-6/℃,室温下的应变计系数(GF)为2.1。
【作者单位】： 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室;
【关键词】： 磁控溅射 NiCrAlY 薄膜应变计 应变计系数 电阻温度系数
【分类号】：TH823.3
【正文快照】： 0引言涡轮发动机叶片在严酷环境运行时承受着高离心力、热应力、高振动、高温度等,准确测量涡轮叶片由振动产生的应变大小可有效检测叶片状态、排查发动机故障,是研制安全稳定的航空发动机的关键[1]。采用真空沉积方法把应变敏感薄膜直接沉积到结构件表面制成薄膜应变计,可以

【参考文献】

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1 李瑶;陈寅之;唐永旭;蒋洪川;刘兴钊;;真空热处理对NiCrAlY薄膜表面高温氧化的影响[J];电子元件与材料;2011年11期

2 李美Y，

本文编号：547388