微陀螺仪检测平衡回路建立与验证

发布时间：2017-08-24 03:25

  本文关键词：微陀螺仪检测平衡回路建立与验证

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【摘要】：基于梳齿电容微结构,分析了电压驱动梳齿电容振动产生静电力的工作原理;针对微陀螺仪开环直接检测的不足,采用静电力平衡哥氏力的方法构建平衡回路,抑制哥氏振动。提取了微陀螺仪哥氏输出信号振动幅值;以哥氏振动幅值为控制量,设计了微陀螺仪检测平衡回路。仿真和实验表明构建的检测平衡回路能够有效地平衡哥氏力,抑制哥氏振动,使质量块回到平衡位置,微陀螺仪标度因数线性度和对称性有显著提高,测量范围、阈值和分辨率等性能均有不同程度改善。
【作者单位】： 郑州轻工业学院电气信息工程学院;东南大学仪器科学与工程学院;河南机电高等专科学校;
【关键词】： 微陀螺仪 检测平衡回路 哥氏效应 闭环控制
【分类号】：V241.6
【正文快照】： 0引言微陀螺仪是利用MEMS技术、依据哥氏效应原理制作的一种角速度惯性传感器,具有体积小、重量轻、功耗低、成本低等特点,被广泛应用在汽车姿态控制、机器人自主导航、防抖动稳定平台等中低精度测量领域[1-2]。按照工作原理的不同,微陀螺仪可分为振动型、转子型和其他介质型，

本文编号：728930