提高载体驱动硅微陀螺灵敏度的方法

发布时间：2017-09-23 04:22

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【摘要】：载体驱动硅微陀螺是一种利用体微工艺制备的新型电容式振动MEMS陀螺,它安装于旋转飞行器上,利用载体的自旋作为驱动。当载体发生横向转动时,敏感质量受到周期性科氏力的作用,产生振动,从而敏感输入角速度。针对该种MEMS陀螺,首先介绍了陀螺的工作原理和电容式检测结构,然后详细分析了差分电容与敏感质量偏转角之间的关系,最后提出了一种通过调节电容拾取电路的脉冲信号的占空比,来提高陀螺灵敏度的方法。实验测试结果表明,当占空比由50%调整到75%时,相应输出电压峰峰值可由10.7 V提高到13.1 V,提高幅度达22.43%。理论分析和实验结果均表明,该方法可简便有效地提高陀螺灵敏度,具有实际应用价值。
【作者单位】： 内蒙古财经大学计算机信息管理学院;北京信息科技大学传感技术研究中心;
【关键词】： 陀螺灵敏度 占空比 电容式检测结构 MEMS陀螺
【基金】：国家自然科学基金资助项目(61563038) 内蒙古自治区高等学校创新团队发展计划支持(NMGIRT-A1609)
【分类号】：V241.5
【正文快照】： 微机械MEMS陀螺是一种利用IC工艺加工制作的新型陀螺。它具有尺寸小,重量轻,响应快,抗冲击能力强,适用于恶劣环境等优点[1-2]。MEMS陀螺以其优越的特点,有着十分喜人的应用前景,例如,计算机鼠标、智能手机稳定系统、飞行器姿态控制系统等[3-6]。微机械陀螺的种类很多,不过绝大

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本文编号：903172