硅改性铝化物涂层的CVD制备工艺

发布时间：2017-09-25 20:13

  本文关键词：硅改性铝化物涂层的CVD制备工艺

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【摘要】：研究了CVD法制备硅改性铝化物涂层工艺。结果表明,采用先渗硅后渗铝的两步法工艺可在Inconel 718表面获得铝-硅涂层。铝-硅涂层分为明显的两层结构,内层富硅,外层富铝。硅的加入阻碍高温条件下Al原子的内扩散,并促进了试样表面Al2O3膜的生成。铝-硅涂层具有比单一的铝化物涂层更为优秀的耐高温氧化性能。
【作者单位】： 武汉材料保护研究所;特种表面材料及应用技术国家重点实验室;
【关键词】： 涂层 化学气相沉积 铝-硅 Inconel 合金
【分类号】：V263
【正文快照】：

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前4条

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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1 霍文q，

本文编号：919346