几种含氟电子气体发展的思考

发布时间：2021-06-26 12:45

　　介绍了三氟化氮、六氟化钨、四氟化碳、电子级六氟化硫等几种含氟电子气体在半导体、平板显示等领域的应用。对相关行业发展的现状和前景进行了分析和预测,讨论了行业发展的潜在风险。 

【文章来源】：化学推进剂与高分子材料. 2020,18(02)

【文章页数】：5 页

【文章目录】：
1 几种含氟电子气体的性质及其在电子行业的应用
    1.1 三氟化氮
    1.2 六氟化钨
    1.3 四氟化碳
    1.4 电子级六氟化硫
2 行业发展现状
3 发展预测
4 行业发展存在的风险
5 结束语


【参考文献】：
期刊论文
[1]2016年中国集成电路芯片制造业的状况研究[J]. 王龙兴.  集成电路应用. 2017(10)
[2]钨（W）台阶覆盖填充能力的研究[J]. 李飞.  电子技术与软件工程. 2016(10)
[3]含氟电子气体研究进展[J]. 李盛姬,黄雪静,齐海,张建君.  低温与特气. 2013(01)
[4]三氟化氮-一种新型干蚀刻气[J]. 杨彦.  低温与特气. 2006(04)



本文编号：3251369