单晶硅多能场复合化学改性策略研究

发布时间：2021-07-15 13:52

　　单晶硅具有硬度大、脆性高、折射率高、质量密度低和热膨胀系数低等特性,在固态电子、微机电系统、集成电路或者光伏晶圆等领域应用广泛。因其特有的硬脆材料特性,在机械加工过程中极易产生表面损伤,包括微裂纹、崩边、缺角等,从而影响零件的使用寿命和加工效率。本文提出将紫外光催化作用以及红外激光高效能量输入作用引入到材料表面改性中,在多能场复合化学改性策略下实现硬脆材料低损伤的微细磨削加工,侧重研究多能场复合化学改性策略对单晶硅材料改性效率的影响规律,优化多能场复合改性条件及化学改性液成份;对比多能场复合化学改性策略和单一化学改性的改性效果;提出多能场复合的路径性改性策略并试验验证其策略的可行性。本文具体研究内容包括:（1）单晶硅多能场复合化学改性策略研究。以（100）晶面双面抛光单晶硅为研究对象,分析引入紫外光、红外激光等多能量场复合促进单晶硅材料表面发生变化的改性策略,设计单晶硅路径性改性实验,分析材料表面改性层成份变化并根据改性层力学性能变化评价多能场复合改性策略可行性。（2）多能场复合化学改性策略原理研究。设计基于能场条件变化以及调节化学改性液成份投加量的反应动力学实验,对比拟合改性后溶液中... 

【文章来源】：湖南大学湖南省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校

【文章页数】：72 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

H2O2投加量对硅元素释出量的影响规律

紫外光强度对硅元素释出量的影响规律

紫外光辐照时间对硅元素释出量的影响规律

【参考文献】：
期刊论文
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[8]纳米二氧化钛的光催化机理及其在有机废水处理中的应用[J]. 张万忠,乔学亮,邱小林,陈建国,罗浪里.  人工晶体学报. 2006(05)
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博士论文
[1]零价铁/过硫酸钠体系产生硫酸根自由基氧化降解氯酚的研究[D]. 赵进英.大连理工大学 2010

硕士论文
[1]基于超快激光的石墨烯刻蚀及改性研究[D]. 关彦涛.北京交通大学 2018
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[3]基于纳米压痕/划痕技术的KDP晶体脆塑转变机理研究[D]. 周光哲.哈尔滨工业大学 2017



本文编号：3285830