基片温度对直流反应磁控溅射法制备氧化钨电致变色材料循环寿命的影响

发布时间：2017-07-06 19:23

  本文关键词：基片温度对直流反应磁控溅射法制备氧化钨电致变色材料循环寿命的影响

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【摘要】：通过选取室温、100℃、200℃三个不同基片温度制度来探讨基片温度对氧化钨薄膜电致变色循环寿命的影响。实验结果表明:当基片温度由室温提高至100℃后,氧化钨薄膜的循环寿命有较大的改善,循环次数由806次提高至3000次。当基片温度由100℃提高至200℃时,循环寿命反而有所衰退,循环次数由3000次减少至1000次。
【作者单位】： 武汉理工大学硅酸盐建筑材料国家重点实验室;江苏秀强玻璃工艺股份有限公司;
【关键词】： 直流反应溅射 氧化钨薄膜 基片温度 循环寿命 光学调制幅度
【基金】：湖北省重大科技创新计划项目(2013AAA005)
【分类号】：TQ136.13
【正文快照】： 1引言电致变色材料及器件的几个重要性能指标:致色效率、光学调制幅度、转换速度、循环寿命中,循环寿命一直是制约其发展的重要因素之一,按照电致变色智能窗的使用年限10~15年,其循环寿命需达到104~105次循环的要求。氧化钨薄膜材料因其较优的变色性能被广泛的研究,为了改善其

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本文编号：527526