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自支撑金刚石厚膜片的HFCVD法制备及摩擦学特性

发布时间:2017-08-05 18:06

  本文关键词:自支撑金刚石厚膜片的HFCVD法制备及摩擦学特性


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【摘要】:探讨了自支撑金刚石厚膜片的晶体生长模型,并依据模型通过热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备了厚度为0.6 mm的自支撑金刚石厚膜片.采用球-盘式摩擦磨损试验机进行摩擦学实验,借助扫描电镜、拉曼光谱仪等研究了自支撑金刚石厚膜片分别与钢球、陶瓷球以及铝球组成对偶副时的摩擦学特性.结果表明:铝球做对偶球时平均摩擦系数最大,在对磨初始阶段很快出现了金属转移层;陶瓷球做对偶球时摩擦系数最小,球表面物质的微观形貌呈微细碎屑状分布;对磨后自支撑金刚石厚膜片的磨损量非常小,是良好的耐磨材料.
【作者单位】: 南京航空航天大学机电学院;盐城工学院机械工程学院;
【关键词】热丝化学气相沉积法 自支撑金刚石厚膜 摩擦系数 磨损
【基金】:国家自然科学基金资助项目(51275230) 江苏省科技计划项目(2015057-22) 江苏省六大人才高峰项目(ZBZZ-002) 江苏省研究生培养创新工程项目(KYLX_0227) 南京航空航天大学中央高校基本科研业务费专项资金资助项目~~
【分类号】:TQ163
【正文快照】: 化学气相沉积(CVD)金刚石膜由于具有高硬底以及沉积纳米金刚石膜的试样进行了摩擦学实度、高耐磨性以及化学不活泼性等优点而被广泛应验,发现沉积了膜的试样的耐磨性大大提高.与薄膜用于工具涂层加工[1-2].在制备CVD金刚石膜的方相比,金刚石厚膜除了与薄膜一样可以在工具基体

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1 陈尚波;张耀平;夏弋江;田留峰;;基于残差型G-LSSVM的岩石冒落高度及碴石厚度预测[J];金属矿山;2013年08期



本文编号:626212

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