电弧离子镀中Ti大颗粒空间传输过程中受力变化特征分析

发布时间：2018-06-16 14:55

  本文选题：电弧离子镀 + 薄膜　； 参考：《中国表面工程》2017年04期

【摘要】：电弧离子镀所制备薄膜中的大颗粒缺陷是研究热点之一,文中利用尘埃等离子体的理论,以Ti大颗粒为研究对象,对电弧离子镀中大颗粒空间传输过程中的受力进行了分析,主要包括重力、离子拖曳力、热泳力、电场力等4种类型,对其影响规律、作用大小以及综合表现进行了总结,为有效避免大颗粒在薄膜表面的沉积概率提出了理论依据。通过对大颗粒传输过程中的空间受力的计算,发现大颗粒受到自身重力、热泳力、电场力和离子拖曳力的综合作用是影响其在薄膜表面数目变化的主要原因。
[Abstract]:The defect of large particles in the films prepared by arc ion plating is one of the hot topics. In this paper, based on the theory of dust plasma, the stress of large particles in arc ion plating during the process of spatial transport is analyzed by taking the large Ti particles as the object of study. It mainly includes four types: gravity, ionic drag force, thermal swimming force, electric field force, etc. The influence law, action size and comprehensive performance are summarized, which provides a theoretical basis for effectively avoiding the deposition probability of large particles on the surface of thin film. Through the calculation of the spatial force during the transport of large particles, it is found that the combined action of gravity, thermal swimming force, electric field force and ion drag force on the surface of large particles is the main reason that affects the number of particles on the surface of the film.
【作者单位】： 郑州航空工业管理学院机电工程学院;哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金(51401182) 航空科学基金(2016ZE55013) 河南省科技攻关计划(172102210075)~~
【分类号】：TG174.4

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本文编号：2027079