基于固结磨料盘的钽酸锂高效研磨加工技术研究

发布时间：2021-11-24 01:23

　　钽酸锂（LiTaO₃,以下简称LT）晶体是一种典型的单晶体多功能材料,具有优良的压电、铁电、声光及电光效应,因而被广泛应用于窄带滤波器、传感器、光子可调谐滤波器、声光器件、光陀螺仪等。但是由于钽酸锂晶体硬度低、脆性大,并且具有强各向异性等特点,在传统的游离磨料加工中易出现晶片碎裂、磨粒嵌入等问题,导致加工效率相对较低。为了解决游离磨料加工中存在的问题,本文利用固结磨料盘对钽酸锂晶片进行加工,主要研究工作包括以下几个方面:（1）Y-36°晶向钽酸锂晶体的弹性模量与硬度研究采用纳米压痕法研究了Y-36°晶向钽酸锂晶片的弹性模量和硬度。在进行纳米压痕实验时,如果加载力过小,实验测得的材料硬度和弹性模量结果容易受LT晶片表面粗糙度和压头压入晶片深度大小的影响,所以用纳米压痕法去研究LT晶体纳米力学性能时应选用较大的载荷。实验测得的Y-36°LT晶体的硬度值约为12.6 GPa。当加载力为8¹0 mN时,Y-36°晶向的LT晶体用纳米压痕法测得并计算出来的弹性模量值较稳定,其平均值分别大约为235.8 GPa,受晶片表面粗糙度及加载力大小不同的影响较小... 

【文章来源】：浙江工业大学浙江省

【文章页数】：96 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

LT的晶体结构示意图

技术路线

浙江工业大学硕士学位论文验原理是利用特制的金刚石压头，用毫牛级的载荷力在过程中的压力、位移等数据都会被计算机记录下而得出材料的硬度和弹性模量[39]。rr 在 1992 年提出了纳米压痕法来计算材料硬度和 方法。在测试时，压头压入材料的深度会随载荷x是试验加载的最大载荷，hmax是压头相对于材料载后残余的压痕深度。卸载曲线初始部分近似于，即为被测材料的卸载刚度 S(即 dp/dh)，也称为


本文编号：3515011