复杂微小零件几何形位误差的精密测量与表征技术研究

发布时间：2024-05-12 12:59

　　复杂微小型零件一般是指尺寸大小为0.1mm～10mm,特征尺寸大小0.01mm～1mm,且具有复杂形貌特征的零件。随着各学科不断向着高精尖端发展,精密的复杂微小零件在各个领域发挥着越来越重要的作用。无论采用何种加工技术,要获得合格的复杂微小精密零件,都需要先进的测量装置及方法。由于精密复杂微小零件结构形态各异,复杂多变,现有三坐标测量装置难以满足其高精度、高效率的形位误差测量要求。针对上述问题,本文研究目标为开发一种针对微小尺寸零件的几何形位误差多坐标测量及表征评价技术,主要内容为针对论文中给出的两种待测复杂微小零件,应用五自由度精密测量平台完成复杂微小零件测量轨迹规划方法的研究,实现这两种复杂微小零件的测量轨迹规划。研究复杂微小零件的形位误差表征和评价方法,研制复杂微小零件形位误差图形化的评价表征软件,实现形位误差表征的自动化。首先,针对复杂微小零件的特点,确定了合适的测量方案。并通过研究多轴加工轨迹行距计算方法,确定了测量轨迹行距的计算方法。对比了现有的测量数据采集步长方法,确定了适用于本论文的测量数据步长采集方法。完成了测头轴矢量空间姿态的规划,并基于曲率干涉检测方法确定了测头允...

【文章页数】：89 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

图1-1军用微小机器人

哈尔滨工业大学工程硕士学位论文-1-第1章绪论1.1课题来源及研究的背景和意义1.1.1课题来源本课题来源于中国工程物理研究院机床专项工程项目。1.1.2课题研究的背景和意义在现代机械制造技术的发展主要方向之一是以超精密制造、微细加工、纳米技术为代表的精密工程技术，随着上述领域的....

图1-2光刻机及其部件

哈尔滨工业大学工程硕士学位论文-1-第1章绪论1.1课题来源及研究的背景和意义1.1.1课题来源本课题来源于中国工程物理研究院机床专项工程项目。1.1.2课题研究的背景和意义在现代机械制造技术的发展主要方向之一是以超精密制造、微细加工、纳米技术为代表的精密工程技术，随着上述领域的....

图1-3文献中结构各异的ICF装配靶[4-6]

哈尔滨工业大学工程硕士学位论文-2-ICF聚变装置中，巨大的激光能量束都通过复杂的路径最终会聚在ICF靶上。靶零件始终是ICF研究重要的物质基础，其质量好坏对物理实验结果具有很强的决定性。ICF靶结构复杂各异，是一种典型的精密复杂微小零件或其装配体[4-6]。图1-3文献中结构各....

图1-4本课题给出的两种待测复杂微小零件本课题所研究技术能够完成对项目中给出的精密复杂微小零件的测量轨迹规

哈尔滨工业大学工程硕士学位论文-3-图1-4本课题给出的两种待测复杂微小零件本课题所研究技术能够完成对项目中给出的精密复杂微小零件的测量轨迹规划、形位误差评价与表征，实现对项目中给出的复杂微小零件进行精密的测量。还可以对其它任意给出的复杂精密微小零件（比如前文中提到的兵器、航天、....

本文编号：3971360