流体微通道浸泡蚀刻技术实验

发布时间：2018-03-23 02:26

  本文选题：微制造　切入点：不锈钢板　出处：《化工学报》2015年10期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：微细加工技术是伴随着微制造的出现而产生的一类新型现代化制造技术,它实现了微小尺度范围内的机械加工和装配。化学蚀刻技术是微细加工技术主要的加工方法之一,包括浸泡、鼓泡、喷淋等方法,其中浸泡式蚀刻方法相对来说设备简单、操作方便、节约成本。本文采用单因素浸泡式方法对不锈钢板蚀刻进行了实验研究,研究了蚀刻时间、蚀刻液组分浓度及温度等因素对化学蚀刻质量的影响。结果表明,蚀刻液中Fe Cl3浓度、H3PO4浓度、温度等对蚀刻速度、蚀刻均匀性、侧蚀及粗糙度有较大的影响。研究结果对流体微细通道的制造提供了初步工艺参数。
[Abstract]:Micromachining is a new type of modern manufacturing technology with the appearance of microfabrication. It realizes machining and assembly in the range of micro scale. Chemical etching is one of the main processing methods of micro machining. It includes soaking, bubbling, spraying and so on. The immersion etching method is relatively simple in equipment, convenient in operation and cost saving. In this paper, single factor immersion method is used to study the etch time of stainless steel plate. The results show that the concentration of Fe Cl3 and the concentration of H _ 3PO _ 4 in the etch solution affect the etching speed and etching uniformity. The side erosion and roughness have great influence. The results provide the preliminary technological parameters for the fabrication of fluid microchannels.
【作者单位】： 西安交通大学热流科学与工程教育部重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金国际(地区)合作与交流项目(51120165002)~~
【分类号】：TG178;TH16

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：1651505