磨粒尺寸对FAP研抛工件亚表面损伤层深度的影响

发布时间：2018-04-28 15:54

  本文选题：亚表面损伤层深度 + 固结磨料研抛　； 参考：《人工晶体学报》2015年11期

【摘要】：建模分析了固结磨料研抛过程中结构因素与工艺参数对磨粒切入工件深度的影响;采用BOE分步腐蚀法测量了不同磨料粒径FAP研抛后K9玻璃、熔石英玻璃亚表面损伤层深度;建立了亚表面损伤层深度与磨粒粒径之间的相关关系。结果表明:固结磨料研抛条件下,工件亚表面裂纹层深度与工件特性、研抛垫特性及磨粒尺寸相关;基于平均切深的亚表面损伤层模型与实验结果有较好的吻合度。为固结磨料研抛垫的设计与工艺参数的制订提供了理论依据。
[Abstract]:The influence of structure factors and process parameters on the depth of abrasive cutting into workpiece was analyzed by modeling and analyzing, and the depth of damage layer on subsurface of fused quartz glass was measured by BOE step corrosion method after FAP polishing with different abrasive particle size. The correlation between the depth of the subsurface damage layer and the particle size was established. The results show that the depth of the crack layer is correlated with the characteristics of the workpiece, the characteristics of the pad and the size of the abrasive particle, and the model based on the average cutting depth is in good agreement with the experimental results. It provides a theoretical basis for the design of bonded abrasive polishing pad and the formulation of process parameters.
【作者单位】： 南京航空航天大学机电学院;
【基金】：国家自然科学基金(51175260,50905086) 航空科学基金(2014ZF52055)
【分类号】：TG580.6

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：1815925