聚焦离子束加工单晶金刚石的亚表层损伤研究

发布时间：2019-05-10 09:58

【摘要】：为保证聚焦离子束(FIB)制造微细零部件或微刀具等的加工表面使用性能和使用寿命,研究了使用FIB技术加工单晶金刚石超硬材料的亚表层损伤。从粒子碰撞和能量交换两种角度分析了FIB加工亚表层损伤的形成原理,利用SRIM软件模拟了FIB加工单晶金刚石的离子轰击过程,确定了FIB亚表层损伤区域横截面半径,以及亚表层损伤深度。研究表明,理论上FIB加工金刚石靶材,其亚表层损伤截面半径不超过微米级零部件特征尺寸的2%,损伤深度不超过1%。
[Abstract]:In order to ensure the surface performance and service life of micro parts or microcutters fabricated by focused ion beam (FIB), the subsurface damage of single crystal diamond superhard materials fabricated by FIB technology was studied. The formation principle of subsurface damage in FIB machining is analyzed from the point of view of particle collision and energy exchange. The ion bombardment process of single crystal diamond machined by FIB is simulated by SRIM software, and the cross section radius of FIB subsurface damage region is determined. And the depth of subsurface damage. The results show that the sub-surface damage section radius and damage depth of diamond target fabricated by FIB are less than 2% and 1%, respectively.
【作者单位】： 燕山大学机械工程学院;燕山大学车辆工程与能源学院;
【分类号】：TG669;TQ163

【相似文献】

相关期刊论文 前7条

1 王桃芬;张循利;时宝国;;抛光参量对抛光光学元件亚表层的影响[J];航空精密制造技术;2008年01期

2 高玉飞;葛培琪;李绍杰;侯志坚;;单晶硅线锯切片亚表层损伤层厚度预测与测量[J];中国机械工程;2009年14期

3 吴洁君,王殿斌,桂满昌,袁广江;SiC颗粒增强铝基复合材料磨损表层、亚表层形貌分析[J];材料科学与工程;1999年03期

4 马幼平，马明亮;不同含碳马氏体钢磨粒磨损后亚表层亚结构及性能变化的研究[J];热加工工艺;1996年03期

5 马幼平，袁守谦;马氏体钢耐磨性与亚表层硬度分布的关系[J];钢铁研究;1998年04期

6 屈里强 ,李雪飞;消除陶瓷亚表层损伤的辅助振动磨削法[J];精密制造与自动化;2004年03期

7 ;[J];;年期

相关会议论文 前4条

1 许云华;朱金华;王发展;武红;熊建龙;;冲击接触载荷下45钢的塑性变形与亚表层组织结构[A];第五届全国青年摩擦学学术会议论文集[C];1999年

2 党娟娟;田爱玲;王春慧;王红军;刘丙才;;光学表面亚表层损伤检测和损伤规律研究[A];第十八届十三省市光学学术会议论文集[C];2010年

3 姚斌;韩忠;卢柯;;铜耐磨性与磨痕亚表层再结晶结构关系[A];第十一届全国摩擦学大会论文集[C];2013年

4 尤泳;王德成;孟博;;一种羊草草地亚表层破土断根刀的设计[A];2007年中国农业工程学会学术年会论文摘要集[C];2007年

相关硕士学位论文 前4条

1 党娟娟;光学表面亚表层损伤表征技术研究[D];西安工业大学;2011年

2 宋玮;微晶玻璃超精密加工亚表层损伤预测方法及实验研究[D];哈尔滨工业大学;2011年

3 郭海涛;熔石英光学元件亚表层损伤实验研究[D];哈尔滨工业大学;2014年

4 纪淑花;光学元件亚表层损伤等离子体修复理论与实验研究[D];长春理工大学;2014年

，

本文编号：2473558