静压导轨的力学特性及直线度影响规律的研究
发布时间:2021-02-01 02:42
随着高端装备在加工光学零件以及一些大型复杂零件时对加工精度的要求越来越高,超精密机床的地位在机床行业越来越高。超精密机床对关键运动部件要求极高,一般需要要求重复定位、运动直线度、主轴跳动、主轴回转等精度均达到纳米级别,甚至更高。导轨是机床直线运动的良好部件,但普通导轨的精度却达不到超精密机床的要求。静压导轨因其高精度、高稳定性、低振动、低摩擦成为超精密机床最适用的直线运动部件,因而被广泛应用于超精密机床,并且国内外学者都对其做了广泛研究,包括承载力特性,刚度,节流孔,油腔结构等,但是在对滑块运动直线度的相关研究上不够深入或者几乎没有。现有关于研究滑块运动直线度的都是先给定一个特征平面(一般用三角函数来描述给定的平面),使滑块在上面进行运动,然后改变三角函数的相位、幅值或者波长,来探究滑块在这些平面上的运动情况,而实际情况下导轨表面是无规则的凹凸不平的面,与现有研究假设的导轨面相差较大。因此为了与实际情况更加贴合,本文做了以下研究:(1)设计了一个液体静压导轨工作台,对部分结构如油腔、小孔、幅板等结构使用了ANSYS仿真分析,并根据实际情况进行选择,然后平台的整体结构进行了仿真优化,并使...
【文章来源】:西南科技大学四川省
【文章页数】:87 页
【学位级别】:硕士
【部分图文】:
美国劳伦斯实验室大型金刚石立式车床Kugler公司生产了TDM-1200超精密车床,如图1-2所示,该车床采用前后双空
绪论3图1-1美国劳伦斯实验室大型金刚石立式车床Kugler公司生产了TDM-1200超精密车床,如图1-2所示,该车床采用前后双空气静压主轴,可圆柱面上加工出微结构[5]。图1-2Kugler公司TDM-1200超精密车床美国的Precitech公司可以说是超精密机床行业的标杆,其研制了一台超精密车床如图1-3所示,该机床直线运动系统采用了液体静压导轨,两根直线轴的直线度和垂直度均达到亚微米级别,该机床可以适用于多种精度极高的加工任务[6]。该公司研制出来的许多类型的超精密机床都处于行业领先地位。图1-3Precitech超精密车床韩国的Won-JaeLee和Seok-IlKim研发了五轴超精密加工机床,如图1-4所示,其直线运动系统采用液体静压支承和直线电机驱动的方式,该机床能够在大表面上加工出稳定的微细结构[7]。
绪论3图1-1美国劳伦斯实验室大型金刚石立式车床Kugler公司生产了TDM-1200超精密车床,如图1-2所示,该车床采用前后双空气静压主轴,可圆柱面上加工出微结构[5]。图1-2Kugler公司TDM-1200超精密车床美国的Precitech公司可以说是超精密机床行业的标杆,其研制了一台超精密车床如图1-3所示,该机床直线运动系统采用了液体静压导轨,两根直线轴的直线度和垂直度均达到亚微米级别,该机床可以适用于多种精度极高的加工任务[6]。该公司研制出来的许多类型的超精密机床都处于行业领先地位。图1-3Precitech超精密车床韩国的Won-JaeLee和Seok-IlKim研发了五轴超精密加工机床,如图1-4所示,其直线运动系统采用液体静压支承和直线电机驱动的方式,该机床能够在大表面上加工出稳定的微细结构[7]。
【参考文献】:
期刊论文
[1]基于MATLAB的静压导轨直线度最小二乘法误差分析[J]. 刘浩,刘强,刘震,姚建华,张霞峰. 机床与液压. 2018(14)
[2]闭式液体静压导轨设计研究[J]. 武鹏飞. 液压气动与密封. 2018(07)
[3]导轨速度对静压导轨承载性能的影响[J]. 徐利军,李蓓智,杨建国. 机床与液压. 2018(05)
[4]基于MATLAB的机床液体静压导轨动态特性分析[J]. 刘博. 智能制造. 2017(10)
[5]一种改善静压导轨机械特性的新方法[J]. 史恩秀,郭鹏阁,王海龙. 中国机械工程. 2016(24)
[6]静压工作台油膜厚度智能补偿控制方案[J]. 赵大兴,李杰,丁国龙,陈飞鹏,赵迪. 机床与液压. 2016(17)
[7]静压支承动静特性及运动误差研究进展[J]. 王智伟,王峰,刘毅,查俊,赵万华. 河北科技大学学报. 2016(03)
[8]小孔节流闭式液体静压导轨流场分布规律及承载特性[J]. 王炯琨,彭小强,关朝亮,铁贵鹏,彭文强. 机械科学与技术. 2016(07)
[9]机床静压导轨毛细管节流器的设计[J]. 杨卓. 机床与液压. 2016(02)
[10]偏载荷下静压导轨结构参数对其性能影响[J]. 胡均平,贾旺,李科军. 计算机仿真. 2016(01)
博士论文
[1]超精密垂直运动系统静动态特性建模及几何误差分析[D]. 齐恩兵.哈尔滨工业大学 2016
[2]流体静压支承对超精密金刚石车床动态特性影响的研究[D]. 侯国安.哈尔滨工业大学 2013
硕士论文
[1]基于改进神经网络的液体静压导轨封油面微结构的优化[D]. 王海龙.西安理工大学 2018
[2]紧凑型油静压导轨系列化设计与性能分析[D]. 王峰.山东科技大学 2017
[3]大型精密重载回转工作台油膜厚度的检测与控制[D]. 李杰.湖北工业大学 2016
[4]基于液体静压丝杠与液体静压导轨的超精密运动系统研究[D]. 赖志锋.哈尔滨工业大学 2016
[5]超精密机床液体静压导轨的设计与可靠性分析[D]. 朱涛.广东工业大学 2015
[6]新型高液阻液体静压导轨的结构优化设计及特性分析[D]. 彭冲.西安理工大学 2014
[7]加工中心立柱结构优化设计与静压导轨分析[D]. 肖齐.大连理工大学 2014
[8]超精密液体静压导轨静动态特性分析及控制技术研究[D]. 董鹏程.哈尔滨工业大学 2013
[9]精密机床静压导轨的设计及性能分析[D]. 翟亚楠.东北大学 2012
[10]超精密金刚石车床热态特性分析[D]. 江云.哈尔滨工业大学 2011
本文编号:3012054
【文章来源】:西南科技大学四川省
【文章页数】:87 页
【学位级别】:硕士
【部分图文】:
美国劳伦斯实验室大型金刚石立式车床Kugler公司生产了TDM-1200超精密车床,如图1-2所示,该车床采用前后双空
绪论3图1-1美国劳伦斯实验室大型金刚石立式车床Kugler公司生产了TDM-1200超精密车床,如图1-2所示,该车床采用前后双空气静压主轴,可圆柱面上加工出微结构[5]。图1-2Kugler公司TDM-1200超精密车床美国的Precitech公司可以说是超精密机床行业的标杆,其研制了一台超精密车床如图1-3所示,该机床直线运动系统采用了液体静压导轨,两根直线轴的直线度和垂直度均达到亚微米级别,该机床可以适用于多种精度极高的加工任务[6]。该公司研制出来的许多类型的超精密机床都处于行业领先地位。图1-3Precitech超精密车床韩国的Won-JaeLee和Seok-IlKim研发了五轴超精密加工机床,如图1-4所示,其直线运动系统采用液体静压支承和直线电机驱动的方式,该机床能够在大表面上加工出稳定的微细结构[7]。
绪论3图1-1美国劳伦斯实验室大型金刚石立式车床Kugler公司生产了TDM-1200超精密车床,如图1-2所示,该车床采用前后双空气静压主轴,可圆柱面上加工出微结构[5]。图1-2Kugler公司TDM-1200超精密车床美国的Precitech公司可以说是超精密机床行业的标杆,其研制了一台超精密车床如图1-3所示,该机床直线运动系统采用了液体静压导轨,两根直线轴的直线度和垂直度均达到亚微米级别,该机床可以适用于多种精度极高的加工任务[6]。该公司研制出来的许多类型的超精密机床都处于行业领先地位。图1-3Precitech超精密车床韩国的Won-JaeLee和Seok-IlKim研发了五轴超精密加工机床,如图1-4所示,其直线运动系统采用液体静压支承和直线电机驱动的方式,该机床能够在大表面上加工出稳定的微细结构[7]。
【参考文献】:
期刊论文
[1]基于MATLAB的静压导轨直线度最小二乘法误差分析[J]. 刘浩,刘强,刘震,姚建华,张霞峰. 机床与液压. 2018(14)
[2]闭式液体静压导轨设计研究[J]. 武鹏飞. 液压气动与密封. 2018(07)
[3]导轨速度对静压导轨承载性能的影响[J]. 徐利军,李蓓智,杨建国. 机床与液压. 2018(05)
[4]基于MATLAB的机床液体静压导轨动态特性分析[J]. 刘博. 智能制造. 2017(10)
[5]一种改善静压导轨机械特性的新方法[J]. 史恩秀,郭鹏阁,王海龙. 中国机械工程. 2016(24)
[6]静压工作台油膜厚度智能补偿控制方案[J]. 赵大兴,李杰,丁国龙,陈飞鹏,赵迪. 机床与液压. 2016(17)
[7]静压支承动静特性及运动误差研究进展[J]. 王智伟,王峰,刘毅,查俊,赵万华. 河北科技大学学报. 2016(03)
[8]小孔节流闭式液体静压导轨流场分布规律及承载特性[J]. 王炯琨,彭小强,关朝亮,铁贵鹏,彭文强. 机械科学与技术. 2016(07)
[9]机床静压导轨毛细管节流器的设计[J]. 杨卓. 机床与液压. 2016(02)
[10]偏载荷下静压导轨结构参数对其性能影响[J]. 胡均平,贾旺,李科军. 计算机仿真. 2016(01)
博士论文
[1]超精密垂直运动系统静动态特性建模及几何误差分析[D]. 齐恩兵.哈尔滨工业大学 2016
[2]流体静压支承对超精密金刚石车床动态特性影响的研究[D]. 侯国安.哈尔滨工业大学 2013
硕士论文
[1]基于改进神经网络的液体静压导轨封油面微结构的优化[D]. 王海龙.西安理工大学 2018
[2]紧凑型油静压导轨系列化设计与性能分析[D]. 王峰.山东科技大学 2017
[3]大型精密重载回转工作台油膜厚度的检测与控制[D]. 李杰.湖北工业大学 2016
[4]基于液体静压丝杠与液体静压导轨的超精密运动系统研究[D]. 赖志锋.哈尔滨工业大学 2016
[5]超精密机床液体静压导轨的设计与可靠性分析[D]. 朱涛.广东工业大学 2015
[6]新型高液阻液体静压导轨的结构优化设计及特性分析[D]. 彭冲.西安理工大学 2014
[7]加工中心立柱结构优化设计与静压导轨分析[D]. 肖齐.大连理工大学 2014
[8]超精密液体静压导轨静动态特性分析及控制技术研究[D]. 董鹏程.哈尔滨工业大学 2013
[9]精密机床静压导轨的设计及性能分析[D]. 翟亚楠.东北大学 2012
[10]超精密金刚石车床热态特性分析[D]. 江云.哈尔滨工业大学 2011
本文编号:3012054
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