Co-Re化学气相沉积一体化系统的研究

发布时间：2021-02-15 20:29

　　设计了Co-Re化学气相沉积一体化系统,采用两个升华室,分别以Co（acac）₂和Re₂（CO）₁₀为前驱体,通过运载气体H₂输运至反应室,在速射武器身管钢基体上（0CrNi2MoVA型钢材）同时沉积Co原子和Re原子,生成Co-Re合金抗烧蚀涂层。Co-Re化学气相沉积一体化系统包括机械系统和控制系统。介绍了系统的原理和构成,着重介绍了一体化系统的五个温控系统设计以及各个控制元件的连接和操作。经过初步的测试表明:能够给Co-Re涂层的形成提供合适的温度与气压,并且结构简单、制造成本低,此系统能够用于Co-Re合金涂层的制备与研究。 

【文章来源】：机械设计与制造. 2020,(10)北大核心

【文章页数】：4 页

【参考文献】：
期刊论文
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[3]大型食品真空冷冻干燥设备控制系统设计与应用研究[J]. 徐言生,李玉春,何钦波,潘树清.  真空科学与技术学报. 2008(04)
[4]铼/铱发动机喷管研究最新进展[J]. 胡昌义,陈力.  贵金属. 2007(04)
[5]小推力姿/轨控液体火箭发动机材料的研究进展[J]. 张绪虎,汪翔,贾中华,胡欣华,吕宏军.  宇航材料工艺. 2005(05)

博士论文
[1]化学气相沉积制备高纯度Re、Ir的相关机理研究[D]. 杨诗瑞.北京理工大学 2015

硕士论文
[1]铼的化学气相沉积前驱体的合成探究[D]. 王薇.昆明理工大学 2013



本文编号：3035490