干涉条纹相位锁定系统分析及其控制

发布时间：2018-05-07 01:29

  本文选题：相位锁定 + 声光调制器　； 参考：《光子学报》2017年01期

【摘要】：干涉条纹的相位变化与干涉条纹中某一固定点的光强密切相关,基于这一原理,通过对干涉场光强分析,提出并设计了一种用于干涉条纹相位锁定的控制系统.光电探测器检测干涉条纹中固定目标点的光强,并以该光强电压作为反馈控制信号,利用声光调制器对干涉系统中两束高斯光束中的一束进行实时频率调制,将光强电压控制在一个固定值,实现干涉条纹的相位锁定.构建了条纹锁定控制系统控制对象的理论模型,通过实验进行了验证,并基于该模型的特点设计了条纹锁定控制器.实验结果表明:在400Hz的控制频率下,干涉条纹相位漂移不超过±0.04个条纹周期,满足干涉光刻的曝光需求.
[Abstract]:The phase change of interference fringes is closely related to the light intensity of a fixed point in the interference fringes. Based on this principle, a control system for phase locking of interference fringes is proposed and designed by analyzing the light intensity of interference fields. The photodetector detects the light intensity of the fixed target point in the interference fringes, and takes the light intensity voltage as the feedback control signal. The acousto-optic modulator is used to modulate the real time frequency of one of the two Gao Si beams in the interference system. The light intensity voltage is controlled at a fixed value to realize the phase locking of interference fringes. The theoretical model of the control object of the stripe locking control system is constructed and verified by experiments, and the stripe locking controller is designed based on the characteristics of the model. The experimental results show that the phase shift of interference fringes is less than 卤0.04 fringe periods under the control frequency of 400Hz, which meets the exposure requirement of interference lithography.
【作者单位】： 清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金(No.51475262)资助~~
【分类号】：O436.1

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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本文编号：1854807