离子束溅射薄膜光学常数表征的光斑效应

发布时间：2018-09-10 18:15

【摘要】：利用离子束溅射沉积制备了光学薄膜。基于椭圆偏振测量技术,研究了折射率、膜层厚度和表面层厚度与测试光斑大小的关系。研究结果表明,随着样品表面测试光斑尺寸的增加,薄膜折射率变小,膜层厚度、表面层厚度增加。使用反射光谱法和轮廓仪分别验证了各光学常数的光斑效应。研究结果表明,光学薄膜的折射率与膜层厚度具有弱横向非均匀性,采用大尺寸测量光斑能弱化这种非均匀性。
[Abstract]:Optical thin films were prepared by ion beam sputtering deposition. Based on elliptical polarization measurement, the relationship between refractive index, thickness of film and thickness of surface layer is studied. The results show that the refractive index of the film becomes smaller, the thickness of the film and the thickness of the surface layer increase with the increase of the size of the measured spot on the surface of the sample. The speckle effect of each optical constant is verified by reflectance spectroscopy and profilometer respectively. The results show that the refractive index and the thickness of the film are weakly transversal inhomogeneity, and the large size measurement of the spot can weaken the inhomogeneity.
【作者单位】： 中国航天科工飞航技术研究院天津津航技术物理研究所天津市薄膜光学重点实验室;哈尔滨工业大学光电子技术研究所可调谐激光技术国家重点实验室;中国航天科工集团公司深圳航天工业技术研究院;
【基金】：国家自然科学基金(61405145,61235011) 中国博士后科学基金(2014 M560104,2015T80115) 天津市自然科学重点基金(15JCZDJC31900,13JCYBJC17300)
【分类号】：O484.41

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本文编号：2235234