钠金属等离激元:制备,特性及应用
【学位授予单位】:南京大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2019
【分类号】:TB383.1;O441
【图文】:
一1.1引言逡逑在过去的几十年里,信息处理的速度随着微电子和纳米电子器件尺寸的减小逡逑速增长。然而,研究人员在使用这种缩放方法达到几十吉赫兹以上速度时面临逡逑着困难,相比之下,光子学能够提供太赫兹范围内的带宽[1]。传统的光子元件,逡逑如光纤,由于衍射极限限制,需要的物理尺寸与光的波长(大约一微米)在一个逡逑量级。纳米尺度电子器件和微米尺度光子元件在物理尺寸上的差异导致了这两种逡逑器件之间的不兼容性。等离激元融合了光子学提供的高带宽和纳米电子学提供的逡逑纳米集成,将光子能量与自由电子气体耦合,形成一种亚波长振荡模式。由于等逡逑离激元器件能够突破亚波长限制,因此等离激元成为纳米光子学研究领域的基础逡逑(图].1邋)邋[2]0逡逑PH/-'逡逑
为了减小光学特性对入射角的依赖性,在基于高吸收媒介的纳米腔中使逡逑用折射率高、千涉效应强的材料来减少对结构的折射,金属纳米结构中的相位补逡逑偿和局域共振被广泛研究[36]。我们利用图1.4的反射式颜色设计来阐述原理[37丨逡逑5逡逑
邋逦m.y逡逑图1.4逦(a)反射式F-P颜色滤波器原理图;(b)不同SisN4厚度(d邋=邋108,80和54邋rnn)逡逑时,实验测得的CMY颜色滤波器的反射光谱;(c)CMY颜色器件的SEM和光学照片,器件尺逡逑寸约邋2邋cmX2邋cm丨37|逡逑图1.4a描述了利用F-P共振的原理图氮化硅(Si3N4)和银(Ag)分别作为逡逑腔体媒介和反射镜。在结构色颜色滤波器设计中,银作为金属镜被广泛选用,因逡逑为其在可见光频率下具有低的吸收损耗。通过选择一个合适的腔长度(d)来产逡逑生F-P共振,其波长与红色、绿色或蓝色(RGB)的颜色相对应,其互补色青色、逡逑品红或黄色(CMY)可以很容易地在反射光中获得。图1.4b展示了不同Si3N4厚逡逑度(C:邋108nm、M:邋8(him和Y:邋54nm)来制备CMY滤波器的实验测量反射光谱逡逑图,同时顶部(20邋nm)和底部(150邋nm)银层的厚度是相同的。样品的横截面逡逑扫描电子显微镜(SEM)图像和光学图像如图1.4.C所示。逡逑■IM邋1逦m逡逑b邋?逦逡逑IIWl—B?逡逑?逦d邋,邋<f逦___邋逦逡逑■逡逑?逦:逦m邋i逡逑Incident邋angle邋(deg)逡逑图1.5逦(a)邋F-P腔结构原理图,入射和折射角分别为?,和&:逦(b)模拟(曲线)和实验逡逑(点)结果表明,器件的共振波长随入射角的改变而变化,这里器件的介电腔材料分别为逡逑Si02、SisN4和ZnSe。(c-e)邋ZnSe腔的CMY颜色滤波器光学图
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本文编号:2747354
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